주사전자현미경 (SEM)

연구와 산업을 위한 고해상도 이미징 및 분석 솔루션

주사전자현미경(SEM)은 집속된 전자빔으로 시료를 주사하여 시료의 표면 형상과 조성에 대한 정보를 담은 이미지를 획득합니다.
ZEISS의 CSEM(열전자원을 사용하는 일반형 SEM)과 FE-SEM(전계방출 전자원을 사용하는 전계방출형 SEM)은 고해상도 이미징과 뛰어난 재료 대비를 제공합니다.

· 고해상도의 표면 민감 정보 및 재료 대비 제공
· 나노기술, 재료 연구, 생명과학, 반도체, 원자재 및 산업 분야에서 폭넓게 활용

ZEISS GeminiSEM

서브나노미터 이미징, 분석 및 시료 유연성에 대한 최고 수준의 요구를 위한 FE-SEM

뛰어난 이미징 성능과 분석 기능을 결합한 ZEISS GeminiSEM은 서브나노미터 해상도의 손쉬운 이미징을 제공합니다. 전자광학계의 혁신과 새로운 챔버 설계를 통해 향상된 이미지 품질, 사용 편의성 및 유연성을 제공합니다. 이머전 렌즈 없이도 1 kV 이하에서 서브나노미터 이미지를 획득할 수 있습니다. ZEISS Gemini 전자광학계의 세 가지 고유한 설계를 확인하세요!

범용적인 활용을 위한 ZEISS GeminiSEM 360
효율적인 분석을 위한 ZEISS GeminiSEM 460
첨단 표면 이미징을 위한 ZEISS GeminiSEM 560

여러분에게 필요한 GeminiSEM을 찾아보세요!

GeminiSEM 360

GeminiSEM 360은 연구지원센터를 위한 이상적인 장비로 재료과학, 생명과학 및 산업 분야에서 높은 수준의 활용 유연성을 제공합니다. Gemini 1 전자광학 컬럼을 기반으로 매우 다양한 애플리케이션과 시료 유형에서 고해상도 이미징과 분석을 지원합니다.
다양한 시료에 유연하게 대응

탁월한 사용자 경험

뛰어난 기능 확장성
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GeminiSEM 460

까다로운 분석 작업을 위해 설계된 GeminiSEM 460은 효율적인 분석과 자동화된 워크플로우를 지원합니다. Gemini 2 컬럼은 다양한 분석의 까다로운 작업을 지원하며 이미징과 분석 조건 사이를 원활하게 전환할 수 있습니다.
고해상도 및 고전류 활용

맞춤형 자동화 워크플로우

더욱 다양한 가능성으로 확장
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GeminiSEM 560

표면 민감형, 왜곡 없는 고해상도 이미징의 기준을 한 단계 높이는 GeminiSEM 560은 1 kV 이하에서도 손쉽게 이미징할 수 있도록 지원합니다. Gemini 3와 새로운 전자광학 엔진 Smart Autopilot을 도입하여 모든 작업 조건에서 GeminiSEM 제품군 중 가장 높은 해상도를 제공합니다.
표면 이미징의 새로운 기준

전문 지식의 통합

고유한 콘트라스트 경험
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GeminiSEM 제품군 살펴보기

ZEISS Sigma

고품질 이미징과 첨단 분석을 위한 FE-SEM

ZEISS Sigma 제품군은 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM) 기술과 뛰어난 사용자 경험을 결합합니다. 이미징 및 분석 루틴을 체계화하여 생산성을 높일 수 있습니다. 새로운 재료를 연구하거나 품질 검사를 위한 입자를 분석, 혹은 생물학적 또는 지질학적 시료를 관찰할 수 있습니다. 고해상도 이미징에서도 타협 없이 저전압 조건까지 확장하여 1 kV 이하에서 향상된 해상도와 콘트라스트를 활용할 수 있습니다. 또한 동급 최고 수준의 EDS 지오메트리를 활용해 고급 분석 현미경 작업을 수행하고 두 배 빠른 속도와 더 높은 정밀도로 분석 데이터를 획득할 수 있습니다.

Sigma 360

연구지원센터를 위한 선택. 직관적인 데이터 획득.

기본 설정부터 AI 기반의 결과 도출까지 전문적인 가이드를 제공합니다. 직관적인 이미징 워크플로우를 경험하세요.

1 kV 이하에서의 차이를 확인해보세요. 향상된 해상도와 최적화된 콘트라스트를 구현합니다.

비전도성 시료에서도 우수한 결과를 얻을 수 있도록 극한의 조건에서도 VP 이미징을 수행합니다.

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Sigma 560

높은 처리량을 자랑하는 분석. 자동화된 in situ 실험.

시료의 실용적이고 효율적인 분석: 속도와 유연성을 갖춘 SEM 기반 분석

in situ 실험 자동화: 무인 테스트를 위한 완전 통합형 랩

1 kV 이하에서 까다로운 시료 이미징: 포괄적인 시료 정보 획득

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ZEISS EVO

직관적인 운영과 루틴 분석 및 연구 응용을 위한 모듈형 SEM 플랫폼

EVO 제품군은 고성능 주사전자현미경 기술과 직관적이고 사용자 친화적인 사용 경험을 결합하여 숙련된 현미경 사용자부터 신규 사용자까지 모두 쉽게 활용할 수 있도록 설계되었습니다. 다양한 옵션을 폭넓게 제공하여 생명과학, 재료과학, 산업 품질 보증 및 고장 분석 등 각 분야의 요구사항에 맞게 정밀하게 구성할 수 있습니다.

연구지원센터부터 산업 품질 보증 연구실까지 모두를 위한 다목적 솔루션
다양한 시료에서 우수한 이미지 획득
비전도성 및 비코팅 시료에서도 뛰어난 이미징 및 분석 성능
워크플로우 자동화 및 데이터 무결성 확보

	EVO 10	EVO 15	EVO 25
	EVO 10은 옵션으로 제공되는 후방산란전자 검출기와 Element EDS 시스템을 통해 합리적인 가격으로 주사전자현미경을 도입할 수 있는 입문용 솔루션입니다. 향후 더 넓은 공간 혹은 더 많은 포트가 필요한 어플리케이션에도 대응할 수 있습니다.	EVO 15는 분석 어플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 더 큰 진공 챔버를 선택할 수 있으며 공동기기센터 또는 산업 품질 보증 연구실을 위한 유연한 다목적 솔루션으로 활용할 수 있습니다.	EVO 25는 대형 시료를 위한 솔루션입니다. Z축 이동 범위 150 mm의 스테이지를 제공하며 최대 5 kg의 하중을 처리할 수 있습니다. 또한 대형 챔버에는 여러 개의 분석 검출기를 장착할 수 있어 가장 까다로운 미세분석 어플리케이션에도 대응할 수 있습니다.
챔버 크기 직경(Ø) × 높이(h)	Ø 310 × h 220 mm	Ø 365 × h 275 mm	Ø 420 × h 330 mm
최대 시료 높이	130 mm	180 mm	230 mm
최대 시료 직경	230 mm	250 mm	300 mm
전동 스테이지 이동 범위 XYZ	100 × 90 × 50 mm	140 × 130 × 100 mm	150 × 140 × 150 mm

EVO 제품군 자세히 알아보기