マイクロ流体力学の例:幅20 nmのナノチャネル、設定により最大長20 μm。
ナノマテリアル・ナノサイエンスの顕微鏡アプリケーション

マイクロ・ナノ流体力学

将来的なナノ流体デバイスの正確なナノパターニングと非帯電・非破壊イメージング

ナノ流体デバイスは、根本的な科学プロセスの研究や、ナノ毛管現象、閉鎖空間の物質移行、タンパク質-DNAの相互作用などの幅広い機序の探索に役立ちます。

ナノ流体デバイスのメリットとして、大きさと形の柔軟さが挙げられます。これらの特徴は、電子ビームやイオンビームを使って精密に作製できるため、科学者は必要に応じて様々な特性を調整することができます。一方、新たなアプリケーションに必要な正確性を備えたナノ流体デバイスの作製には、標準的なFIB-SEMでは不十分です。

標準的なツールでは不十分  

たとえば、SEMで見られる絶縁体試料の帯電は、画像を損なう大きな問題です。解決先として、試料の表面に導電性金属をデポジションする方法がありますが、試料は損傷し、その後使用できなくなります。一方、SEMの帯電中和機能があれば、金属薄膜によるコーティングなしで、ナノ流体試料の非破壊イメージングを実施できます。

従来型のFIB-SEM機器では、今日のナノマテリアル研究に対応することができません。ナノ流体力学の発展には、傑出したSEMイメージングとハイスループットの試料調製が可能なFIBの組み合わせが欠かせません。さらに、研究の必要性に応じてモジュール方式でFIB-SEMをアップグレードできることも重要です。モジュール方式のプラットフォームなら、研究が複雑化しても今の顕微鏡を使い続けることができます。

研究に合わせた最適なツール  

研究において不可欠なのが、お使いのツールが研究のニーズを満たしているということです。ZEISSは、研究者がナノ流体力学の研究を発展させるのをサポートします。非破壊の低電圧イメージングが可能な高性能SEMと、高度な材料加工に対応できるハイスループットFIBの組み合わせをご活用ください。

アプリケーション例

詳細:蛇行形状のチャネル。試料ご提供:I. Fernández-Cuesta, INF Hamburg, Germany.実視野100 µm
FIBによってシリコン基板上に作製されたナノチャネル
ZEISS Atlas 5のNPVEモジュールでパターニング、実視野59 μm。
幅20 nm、最大長20 μmのナノチャネル、ZEISS Atlas 5のNPVEモジュールでパターニング、実視野59 μm。

この記事を共有する

ダウンロード

    • Fabrication and Characterization of Nanofluidic Devices for DNA Optical Mapping

      ページ: 6
      ファイルサイズ: 4 MB