Mikrofluidik-Beispiel: 20 nm breite Nanokanäle in verschiedenen Konfigurationen bis 20 µm Länge.

Mikroskopieanwendungen für Nanomaterialien und Nanowissenschaften

Mikro- und Nanofluidik

Präzises Nanopatterning und ladungs- und zerstörungsfreies Imaging für nanofluidische Bauteile der Zukunft

Nanofluidische Bauteile werden für die Untersuchung grundlegender wissenschaftlicher Prozesse und vielzähliger Mechanismen genutzt, wie Kapillarität in Nanostrukturen, Massentransport in räumlich begrenzten Strukturen und DNA-Protein-Interaktion.

Zu den Vorteilen dieser Bauteile zählt ihre Flexibilität hinsichtlich Größe und Form. Diese Merkmale lassen sich mit hoher Genauigkeit mithilfe von Elektronen- und Ionenstrahlen konstruieren, sodass Wissenschaftler verschiedene Eigenschaften an ihre jeweilige Forschungsanwendung anpassen können. Für die Herstellung nanofluidischer Bauteile mit der Präzision, die für zukünftige Anwendungen erforderlich ist, sind herkömmliche FIB-SEM-Systeme jedoch alles andere als ideal.

Standardtools reichen nicht aus

So ist beispielsweise die Verwendung nichtleitender Proben in einem SEM aufgrund der entstehenden Bildverzerrung ein großes Problem. Eine Lösung besteht darin, ein leitendes Metall auf die Oberfläche der zu untersuchenden Probe aufzubringen. Hierdurch wird jedoch die Probe beschädigt, sodass die Probe unbrauchbar wird. Mittels Aufladungsneutralisation in einem SEM hingegen können nanofluidische Proben zerstörungsfrei abgebildet werden, ohne dass die Proben mit einem Dünnfilm aus Metall beschichtet werden müssen.

Bisherige FIM-SEM-Systeme sind für die heutige Nanomaterialforschung nicht mehr ausreichend. Um Fortschritte im Bereich der Nanofluidik zu erzielen, muss Sie herausragende SEM-Imaging-Leistung mit einem hohen FIB-Probendurchsatz kombinieren können. Ebenso wichtig ist die Möglichkeit, Ihr FIB-SEM modular aufrüsten zu können, wenn sich Ihre Anforderungen erhöhen. Mit diesem modularen Plattformkonzept können Sie Ihr Mikroskop an Ihre steigenden Forschungsanforderungen anpassen.

Die richtigen Tools für Ihre Forschung

Entscheidend ist, dass Ihre Tools mit Ihren Anforderungen Schritt halten können. Zu diesem Zweck unterstützt ZEISS die Forschung auf dem Gebiet der Nanofluidik. ZEISS Systeme ermöglichen zerstörungsfreies Hochleistungs-SEM-Imaging bei niedrigen kV-Werten kombiniert mit hohem FIB-Probendurchsatz und Funktionen für massiven Materialabtrag.