ZEISS GeminiSEMファミリー
製品

ZEISS GeminiSEM

サブナノメートルイメージング、解析、多様な試料などの厳しい要件に応えるFE-SEM

ZEISS GeminiSEMは、サブナノメートルの分解能での手間のかからないイメージングを実現します。これらのFE-SEM(電界放出型走査電子顕微鏡)は、卓越したイメージングと解析能力を兼ね備えています。電子光学系のイノベーションと新しいチャンバー設計により、画質、操作性、柔軟性が向上しました。イマージョンレンズを使用せずに1 kV以下でサブナノメートル画像を取得できます。ZEISS Gemini電子光学系の3種類のユニークな設計をご覧ください。

  • コアファシリティに最適 - ZEISS GeminiSEM 360
  • 効率的な解析を可能に - ZEISS GeminiSEM 460
  • 表面イメージングの新たな標準 - ZEISS GeminiSEM 560
Inlens EsBによるセリウム鉄粒子画像

GeminiSEM 360

高感度表面イメージングにより、低電圧または高プローブ電流で情報を収集することができます。Inlens検出、NanoVP、コンテキストに基づいた画像ビューイングまたはAIによるセグメンテーションのメリットをご体感ください。​

キャプション:Inlens EsBによるセリウム鉄粒子画像

ZEISS GeminiSEM 360
試料の柔軟性を高めるツール
試料の柔軟性を高めるツール

2種類の独自のInlens検出器により、試料の包括的な特性評価が可能です。

試料の柔軟性を高めるツール

✔ GeminiSEM 360はコアファシリティに最適な装置であり、材料科学、生命科学、産業調査で非常に幅広く利用できます。

✔ その名を冠した電子光学系デザインのGemini 1により、低電圧で優れた分解能、高プローブ電流で高速の高感度表面イメージングを実現します。

✔ Inlensの二次電子と後方散乱電子イメージングを同時に使用することで、繊細な試料でも高分解能で表面や組成の情報を収集することができます。

✔ 低真空下(圧力可変状態)で非導電性試料をイメージングする場合でも、Inlensのコントラストを使用する必要がありません。NanoVPによって最大限の汎用性が保証され、帯電を発生させないInlensイメージングが可能となります。

優れたユーザーエクスペリエンス
優れたユーザーエクスペリエンス

多用途のチャンバーで、ニーズに合わせて機器を構成できます。

優れたユーザーエクスペリエンス

✔ GeminiSEM 360は、優れたユーザーエクスペリエンスをお届けします。広視野で、高度に設定可能な新しいチャンバーにより、非常に大型の試料でも簡単に調べることができます。

✔ ZEISS ZEN Connectによるシームレスなナビゲーションとコンテキストに沿った画像ビューイング、相関顕微鏡をご活用ください。

✔ オートフォーカスやスマート検出器などの自動機能により、鮮明でクリアな画像を簡単に取得できます。

✔ 180°対向に配置されたEDSポートと同一平面上のEDS/EBSD構成により、イメージングと解析の両方のワークフローを効率的に行うことができます。

✔ ZEISS Predictive Serviceがシステムの稼働時間を最大限に伸ばし、必要に応じて定期メンテナンスを実施します。

リチウムイオン電池の正極材の粒子画像。SEMとラマン法によるオーバーレイ。
リチウムイオン電池の正極材の粒子画像。SEMとラマン法によるオーバーレイ。

ZEN Connectを使用してマルチモーダル実験を実施し、試料を完全に理解しましょう。(リチウムイオン電池の正極材の粒子画像。SEMとラマン法によるオーバーレイ。)

卓越した機能拡張性

✔ 投資の効果を発揮するには、アップグレード可能であることが不可欠です。そこで、GeminiSEM 360をZEISS ZEN coreのソフトウェアエコシステムに組み込みました。

✔ ZEN Connectを利用して、マルチモーダルデータとマルチスケールデータ、高度なAIを利用したセグメンテーション用のZEN Intellesis、セグメンテーションされたデータのレポートと解析のためのZENの分析モジュールを組み合わせることができます。また、ZENデータストレージを使用すると、ラボ内の様々な機器からのデータを取り込んでプロジェクトを一元管理できます。

✔ APEERコミュニティのメンバーとして、他のユーザーが作成したワークフローとスクリプトにアクセスし、課題の解決を図ることが可能です。

✔ アップグレードパスが明確であるため、新機能がリリースされる度にシステムを改善できます。

鋼のEBSDマップ

GeminiSEM 460

低電流・低電圧の作業から、高電流・高電圧の作業にシームレスに切り替えることができます。また、加熱・引張実験用のin situソリューションを追加することも可能です。同一平面上のEDS/EBSD設定を活用することで、EDSデータの影のないマッピングや1秒あたり4,000パターンものEBSDマップの迅速な収集もできます。

キャプション:鋼のEBSDマップ

ZEISS GeminiSEM 460
金属試料のEBSDマップ
金属試料のEBSDマップ

迅速な解析を行い、高電流と高分解能を同時に実現。(金属試料のEBSDマップ)。

高分解能と高電流を実現

✔ GeminiSEM 460は、最も厳密な解析タスク向けに作られたモデルで、効率的な解析と無人ワークフローを可能にします。

✔ Gemini 2カラムを使用して、低電流・低電圧の作業から高電流・高電圧の作業へシームレスに切り替え、再び戻り、高分解能イメージングと解析を迅速に行うことができます。

✔ 複数の検出器を並行使用することで、あらゆる指標の包括的な特性評価が可能です。

✔ 効率的な分析のために、汎用性の高いチャンバーと適切な分析用検出器を選択します。

✔ 新しいVPモードを使用し、電流を上げて、4,000パターン/秒のインデックスレートでEBSDマップを取得できます。

✔ さらに2つの180°対向に配置されたEDSポートと同一平面上のEDS/EBSD構成により、化学組成と結晶方位の特性を効率的に評価することができます。高速で影のないマッピングをご体験ください。

カスタマイズされた自動ワークフロー
カスタマイズされた自動ワークフロー

多用途のチャンバーで、ニーズに合わせて機器を構成できます。

カスタマイズされた自動ワークフロー

✔ このような強力なアナリティクスがあれば、ワークフローの自動化が可能になります。ZEISSのPythonスクリプトAPIを使用して、独自の自動実験を作成・設定しましょう。

✔ 独自の要件に合わせて実験を修正し、結果をカスタマイズすることができます。

✔ 自動チルト・回転と特徴追跡を組み合わせて、STEMトモグラフィーを最大限に活用できます。調整済み画像が独自の3D再構成ソフトウェアに送信され、ナノメートルスケールの分解能で3Dトモグラムが作成されます。

✔ 材料を工学的な限界まで試験する必要がある場合、ZEISSの自動化されたin situ加熱および引張実験によって、応力-ひずみ曲線をその場でプロットしながら、熱と張力下の材料を自動的に観察することができます。

さらなる可能性を開く道
さらなる可能性を開く道

GeminiSEM 460をin situラボに。

さらなる可能性を開く道

✔ Gemini 2の設計により、低電圧でも非常に高い電流密度で調整可能なため、材料科学および生命科学分野での解析機能を拡張できます。

✔ 多様なアクセサリでシステムをカスタマイズできるメリットをご活用ください。多用途なチャンバーは、解析機器だけでなく、in situ実験用デバイス、クライオイメージング、ナノプロービングでも構成可能です。ラボ内の様々な機器からのデータを取り込んでプロジェクトを一元管理できます。

✔ これにより、機器の寿命内であればいつでも機能を拡張およびアップグレードできます。

✔ すべてのGeminiSEMはZEISS ZEN coreエコシステムに接続されており、ZEN Connect、ZEN Intellesis、ZENの解析モジュール(レポート機能およびGxPワークフロー)へのアクセスを提供します。

磁性FeMnナノ粒子、辺長が約25 nmの立方体。GeminiSEM 560、1 kV、Inlens SE、視野:565 nm。​​

GeminiSEM 560

試料バイアスやモノクロメーションを必要としない、1 kV以下かつ1 nm以下の分解能での磁場フリーイメージング、新たな電子光学エンジンSmart Autopilotを搭載したGemini 3、作業条件のスイートスポットを見つける、など、表面イメージングの新たな基準となる様々な機能をご活用ください。

キャプション: 磁性FeMnナノ粒子、辺長が約25 nmの立方体。GeminiSEM 560、1 kV、Inlens SE、視野 565 nm。​

ZEISS GeminiSEM 560
低kVでの非導電性鉱物粒子の表面細部:GeminiSEM 560、800 V、Inlens SE。​
低kVでの非導電性鉱物粒子の表面細部:GeminiSEM 560、800 V、Inlens SE。​

低kVでの非導電性鉱物粒子の表面細部:GeminiSEM 560、800 V、Inlens SE。​

1 kV以下でのイメージングが容易に

✔ Gemini 3は、試料バイアスやモノクロメーションを必要とせずに、1 kV以下かつ1 nm以下の分解能で磁場フリーイメージングが可能です。ナノツインレンズと新たな電子光学エンジンであるSmart Autopilotを搭載しています。

✔ 新たな可変圧力モードと検出システムによる非導電性物質のイメージング:VPモードの新たなGentle Airlock機能で真空感受性の高い試料をチャンバーに移動し、試料本来の特性を維持しながら迅速に結果を得ることができます。

✔ デュアルEDSポートを備えた新しい大型チャンバーを活用して、繊細な試料を簡単に解析できます。検出器の最適な立体角により、影のない高速マッピングが可能です。

CeO2ナノ粒子の3D STEMトモグラフィー。GeminiSEM 560、aSTEM、明視野、加速電圧30 kV。
CeO2ナノ粒子の3D STEMトモグラフィー。GeminiSEM 560、aSTEM、明視野、加速電圧30 kV。

CeO2ナノ粒子の3D STEMトモグラフィー。GeminiSEM 560、aSTEM、明視野、加速電圧30 kV。

専門知識を統合

✔ 大幅に拡大した視野を活かして、簡単に試料のナビゲーションを行うことができます。

✔ 新たな電子光学エンジンのSmart Autopilotによって、困難な試料のイメージングが実現します。電子光学系が等倍以下~最大50万倍の倍率を提供し、アライメント、校正、フォーカスを行うことで時間を節約することができ、手間のかかるアラインメントは過去のものとなります。特許取得済みの視差に基づいたオートフォーカスを新たに搭載し、新しい自動ウォブル機能により、数秒以内にクリアで鮮明な画像を得ることができます。

✔ Pythonスクリプトは、これらの機能を3D STEMトモグラフィーなどの自動ワークフローに利用することができます。

スイートスポット:NdFeB磁石の磁区コントラスト
スイートスポット:NdFeB磁石の磁区コントラスト

スイートスポット:NdFeB磁石の磁区コントラスト

独自のコントラスト

✔ 適切な観察条件を見つけるには、適切なパラメータの組み合わせを見つける必要があり、容易ではありません。磁場フリーのイメージングと新しいGemini 3コラムを備えたGeminiテクノロジーは、これらのスイートスポットを見つけ、新しい情報を発見します。

✔ 試料にかかる磁場が2 mTと非常に小さいため、簡単に磁気コントラストイメージングを実行できます。エネルギー選択型Inlens後方散乱検出器によるエネルギー選択イメージングと、環状後方散乱検出器による電子角度選択イメージングが可能です。

✔ すべてのデータをZEN Connectでまとめ、調査結果をセグメンテーションしてレポートすることができます。

Mario Hentschel博士へのインタビュー

Mario Hentschel博士​

Mario Hentschel博士​

University Stuttgart(4th Physics Institute and Center for Applied Quantum Technology, Germany)による光学センサー研究

Mario Hentschel博士​
証言

Mario Hentschel博士

クリーンルーム/ナノストラクチャリング施設責任者および最初のGeminiSEM 560ユーザー

「私たちは光センシングのためのマイクロ・ナノ構造を取り扱っています。そのため、ナノメートルスケールでデバイスの特性評価ができるかが重要となります。これらのアプリケーションには、柔軟性の高い電子顕微鏡が必要です。ZEISS GeminiSEM 560は、驚くほどの自由と柔軟性をもたらしてくれます。絶縁性の高い高分子などの非常に難しい試料でも、最高レベルの画質を得ることができ、電荷による影響も最低限に抑えられます。このように、GeminiSEM 560が私たちの研究を可能にするテクノロジーであることは間違いなく、非常に柔軟な方法でそれを実現してくれると感じています。」

Gemini電子光学系のバックグラウンドテクノロジー

  • 基本情報

    電界放出型SEMは、高分解能イメージング用に設計されています。電界放出型SEMの性能の鍵となるのは、その電子光学系カラムです。Geminiは、いかなる試料でも優れた分解能を発揮できるようになっており、特に、低加速電圧で完全かつ効率的に検出するために、そして使いやすいように調整されています。

    Gemini 1光学カラムは、ビームブースター、Inlens検出器およびGemini対物レンズで構成されています。
    Gemini 1光学カラムは、ビームブースター、Inlens検出器およびGemini対物レンズで構成されています。

    Gemini 1光学カラムは、ビームブースター、Inlens検出器およびGemini対物レンズで構成されています。

    Gemini光学系を特徴付ける3つの主要素

    • ● Gemini対物レンズの設計は、静電レンズおよび磁界レンズを組み合わせることで、最高の光学的性能を引き出すとともに、電場や磁場が試料に及ぼす影響を最小限に抑えます。これにより、磁性材料のように困難な試料であっても優れたイメージングが可能となります。 
    • ● また、一体型ビーム減速機能を有するGeminiビームブースター技術が、小さなプローブサイズと高いSN比を可能にします。
    • ● GeminiのInlens検出コンセプトは、二次電子(SE)と反射電子(BSE)を同時に検出することで、画像取得の時間を最小限に短縮し、効率的かつ確実にシグナルを検出します。
    亜鉛粒子のInlens EsB画像(左)、Inlens SE画像(右)。
    亜鉛粒子のInlens EsB画像(左)、Inlens SE画像(右)。

    各種アプリケーションにおけるメリット

    • ✔ 長時間安定性が高いSEMのビームアライメントや、プローブ電流や加速電圧等あらゆるシステムパラメータを簡単に調整可能 
    • ✔ ほとんど磁場影響のない光学系のおかげで、ひずみのない高分解能イメージングを実現
    • ✔ Inlens SE検出器が、表面感度の高いSE 1電子から画像を生成し、試料の最表層のみから情報を取得
    • ✔ Inlens EsB検出器の検出コンセプトを用いて、極めて低い電圧で真の材料コントラストを取得
  • 高速解析の活用

    試料の包括的特性評価には、イメージングと解析の性能が必要です。これに加えて、今日のユーザーは設定や取り扱いが簡単な装置を求めています。これらのニーズに応えるのがGemini 2光学系です。

    Geminiテクノロジー。ダブルコンデンサー付き光学カラム、ビームブースター、Inlens検出器、Gemini対物レンズを搭載したGemini 2光学カラムの断面図。
    Geminiテクノロジー。ダブルコンデンサー付き光学カラム、ビームブースター、Inlens検出器、Gemini対物レンズを搭載したGemini 2光学カラムの断面図。

    高分解能イメージングから解析へとシームレスに切り替え可能​

    • ● GeminiSEM 460には、ダブルコンデンサーを特長とするGemini 2光学系が搭載されています。​
    • ● ビーム電流を継続的に調整し、同時に最適なスポットサイズを維持できます。
    • ● ビーム電流が低い高分解能イメージングからビーム電流が高い解析モードにシームレスに切り替え可能です。
    • ● イメージングパラメーターを変更した後にビームを再調整する必要がないため、時間を節約できます。
    ​​鋼のEBSDマップ。
    ​​鋼のEBSDマップ。

    ​​鋼のEBSDマップ。

    柔軟性を維持しつつ効率的に作業​

    • ✔ 柔軟性を維持:低電流でも高電流でも、どのビームエネルギーを選択しても、最も高いビーム電流密度で高分解能のイメージングと分析が可能です。
    • ✔ 試料を磁場に暴露させない:Gemini光学系は試料を磁場に曝さないため、広視野でひずみのないEBSDパターンと高分解能での明瞭なイメージングを実現します。
    • ✔ 電子光学性能に影響を与えることなく、試料を傾けることができます。磁性試料のイメージングも簡単です。
    • ✔ 試料に最適な電荷低減モードを選択可能:局所的電荷補償、チャンバー内可変圧力、NanoVP
  • 1 kV以下でのイメージング - 専門知識を統合​

    Gemini 3の光学系は、低加速電圧および極低加速電圧での解像度とコントラスト強化のために最適化されています。ナノツインレンズと新しい電子光学エンジンであるSmart Autopilotの2つのコンポーネントで構成されており、1 kV~30 kVまでのあらゆる作業条件下で最高の分解能を確保することができます。その他の技術特性としては、高分解能ガンモードおよびオプションのTandem Decelがあります。

    分解能モード – 細部を映すイメージング

    2つのモードにより、SEM画像の細部や検出信号をより多く取得できます。高分解能ガンモードでは、一次ビームのエネルギーの広がりを小さくすることで色収差の影響を最小限に抑え、より小さなプローブサイズを可能にします。Tandem Decelモードでは、試料側に減速電圧をかけます。このモードを使用することで、1 kV以下での分解能がさらに改善され、かつ反射電子検出器の検出効率が向上します。

    Gemini 3カラムの新しい光学設計。GeminiSEM 560の断面模式図。ナノツインレンズ(赤)、Smart Autopilot(青)。
    Gemini 3カラムの新しい光学設計。GeminiSEM 560の断面模式図。ナノツインレンズ(赤)、Smart Autopilot(青)。

    ナノツインレンズの機能:

    • ● 低・超低電圧でも、サブナノメートルの分解能と優れた信号検出効率を実現します。
    • ● 標準的なGemini対物レンズと比較して、低電圧でのレンズ収差を3倍低減します。その結果、位数が1 mTの同じ試料の磁場も3倍小さくなります。
    • ● ジオメトリーと静電場、磁場の分布が最適化されます。
    • ● Inlens検出器の信号が低電圧イメージング条件下で強化されます。
    • ● これらの特性によって、試料を電磁場の中に置くことなく1 kV以下のサブナノメートルイメージングが可能になります。
    1秒間のフォーカス後のファインオートフォーカスの精度
    1秒間のフォーカス後のファインオートフォーカスの精度

    1秒間のフォーカス後のファインオートフォーカスの精度。

    仕組み

    • ● Smart Autopilotは、カラムを通過する電子の軌跡を最適化し、各加速電圧で実現可能な最高の分解能を確保します。
    • ● この自動機能により、1倍~200万倍までの全倍率でアライメントフリーを実現し、10倍の視野で、13cmのオブジェクトを1フレームでイメージングすることができます。
    • ● 32,000 x 24,000の解像度を新しいオーバービューモードと組み合わせると、スティッチングなしで優れた画素密度の視野が得られます。

Geminiテクノロジーのハウツー動画

  • Gemini 1

    多様な試料に対する高い柔軟性

  • Gemini 2

    高速解析用

  • Gemini 3

    高感度表面イメージングの新たな標準を確立

構造金めっき、プラズモン作用の研究、GeminiSEM 560、BSD。

材料科学におけるアプリケーション

典型的なタスクとアプリケーション

  • 現実世界の試料を広視野かつサブナノメートルの分解能で簡単にイメージング/解析
  • ナノサイエンス、エンジニアリングおよびエネルギー材料、もしくはバイオインスパイアード材料、高分子および触媒の研究
  • GeminiSEMが試料の包括的な特性評価をサポート

キャプション:構造金めっき、プラズモン作用の研究、GeminiSEM 560、BSD。画像ご提供:University Stuttgart, Germany

材料科学におけるアプリケーション

ナノサイエンスとナノマテリアル

辺長が約25 nmの立方体。GeminiSEM 560、1 kV、Inlens SE、視野:565 nm。​
磁性FeMnナノ粒子。辺長が約25 nmの立方体。GeminiSEM 560、1 kV、Inlens SE、視野:565 nm。​
プラズモン作用に関する基礎研究の一環として。GeminiSEM 560Sci Adv3, e1700721, 2017.
構造金めっきプラズモン作用に関する基礎研究の一環として。GeminiSEM 560Sci Adv3, e1700721, 2017.
オーバービューモードを用いて極めて広い視野で観察した3枚のユーロ硬貨。GeminiSEM 560
オーバービューモードを用いて極めて広い視野で観察した3枚のユーロ硬貨。GeminiSEM 560
破損したNdFeB試料の破断面のEDSマップ。微細に分布したホウ素(緑)は、ネオジム(ピンク)と容易に区別できる。GeminiSEM 460、バイアスのない3 kVの環状反射電子検出器。
破損したNdFeB試料の破断面のEDSマップ。微細に分布したホウ素(緑)は、ネオジム(ピンク)と容易に区別できる。GeminiSEM 460、バイアスのない3 kVの環状反射電子検出器。

エネルギー材料

500回の充電サイクル後、1 kV、Inlens SE検出器。
NCM622陰極粒子。500回の充電サイクル後、1 kV、Inlens SE検出器。
コーティングされていない高分子電解質燃料電池の表面。バインダーで凝集したカーボンナノ粒子と直径10 nm未満のプラチナナノ粒子を含むマイクロポーラス層。
コーティングされていない高分子電解質燃料電池の表面。バインダーで凝集したカーボンナノ粒子と直径10 nm未満のプラチナナノ粒子を含むマイクロポーラス層。
アルミナ基板。1.8 kVでInlens SE検出器を使用してイメージングし、表面のトポグラフィーを強調表示。
CIGS太陽電池。アルミナ基板。1.8 kVでInlens SE検出器を使用してイメージングし、表面のトポグラフィーを強調表示。

エンジニアリング材料

ステンレス鋼試料。In situ引張荷重試験においてイメージング。コントラストが非常に高い画像にAsB検出器を用いると、in situで引張前(左)と引張後(右)のスリップバンドの形成を捉えることができます。
ステンレス鋼試料。In situ引張荷重試験においてイメージング。コントラストが非常に高い画像にAsB検出器を用いると、in situで引張前(左)と引張後(右)のスリップバンドの形成を捉えることができます。

ステンレス鋼 - In situ引張試験

ステンレス鋼試料。In situ引張荷重試験においてイメージング。コントラストが非常に高い画像にAsB検出器を用いると、in situで引張前(左)と引張後(右)のスリップバンドの形成を捉えることができます。

試料バイアスなしの1 kVランディングエネルギー(左)と5 kV試料バイアスで1 kVランディングエネルギー(右)で反射電子検出器を使用してイメージング。試料バイアスを使用すると、材料のコントラストとシャープネスが向上します。​
試料バイアスなしの1 kVランディングエネルギー(左)と5 kV試料バイアスで1 kVランディングエネルギー(右)で反射電子検出器を使用してイメージング。試料バイアスを使用すると、材料のコントラストとシャープネスが向上します。​

ナノ複合粉末

試料バイアスなしの1 kVランディングエネルギー(左)と5 kV試料バイアスで1 kVランディングエネルギー(右)で反射電子検出器を使用してイメージング。試料バイアスを使用すると、材料のコントラストとシャープネスが向上します。

サンドブラストによる表面処理後の画像。左の画像では、粉砕したシリカ(SiO2)が正電荷を帯びていることを確認できます。このコントラストは、5 mmという長い作動距離(左の画像)でしか得られません。右の画像の作動距離は1 mmです。
サンドブラストによる表面処理後の画像。左の画像では、粉砕したシリカ(SiO2)が正電荷を帯びていることを確認できます。このコントラストは、5 mmという長い作動距離(左の画像)でしか得られません。右の画像の作動距離は1 mmです。

ステンレス鋼の表面

サンドブラストによる表面処理後の画像。左の画像では、粉砕したシリカ(SiO2)が正電荷を帯びていることを確認できます。このコントラストは、5 mmという長い作動距離(左の画像)でしか得られません。右の画像の作動距離は1 mmです。

バイオインスパイアード材料、ポリマー、触媒

ゼラチンマットはホルムアルデヒドが豊富な雰囲気下で安定化したため、化学反応によって繊維の架橋が起きました。試料ご提供:Fraunhofer IMWS, DE
ゼラチンマットはホルムアルデヒドが豊富な雰囲気下で安定化したため、化学反応によって繊維の架橋が起きました。試料ご提供:Fraunhofer IMWS, DE
この表面構造は、超疎水特性に対する濡れ挙動に大きく影響します。試料ご提供:Fraunhofer IGB Stuttgart, DE
ポリウレタンフィルム。この表面構造は、超疎水特性に対する濡れ挙動に大きく影響します。試料ご提供:Fraunhofer IGB Stuttgart, DE
ポリマー溶接処理の不良解析:低真空環境下でイメージングされたポリマーの破断面から、2つのポリマーの接着性を観察することができます。
ポリマー溶接処理の不良解析:低真空環境下でイメージングされたポリマーの破断面から、2つのポリマーの接着性を観察することができます。1
リチウムイオン電池の断面。

産業向け顕微鏡ソリューション

典型的なタスクとアプリケーション

  • 機械的、光学的、電子的コンポーネントの不良解析
  • 破損解析と金属組織解析
  • 表面、微細構造、デバイスの特性評価
  • 組成および位相分布
  • 不純物と介在物の判別

キャプション:リチウムイオン電池の断面。

産業向け顕微鏡ソリューション

鋼および電池

破断面 – 引張状態での鋼試料の脆性破壊
破断面 – 引張状態での鋼試料の脆性破壊

破断面 – 引張状態での鋼試料の脆性破壊

破断面 – 引張状態での鋼試料の脆性破壊

鋼の介在物。Inlens SE検出器、加速電圧500 V。
鋼の介在物。Inlens SE検出器、加速電圧500 V。

鋼の介在物。Inlens SE検出器、加速電圧500 V。

鋼の介在物。Inlens SE検出器、加速電圧500 V。

リチウムイオン電池の陰極
リチウムイオン電池の陰極

EDS組成マッピングは、様々な酸化物の主な構成を示します。試料ご提供:Aalen University, Germany

リチウムイオン電池の陰極

高加速電圧(ここでは30 kV)でのaBSD検出器は、FinFETゲート、タングステンプラグ、錫ライナー(挿入)などの深く埋め込まれた構造を、並外れた分解能とコントラスト比で示します。

電子機器および半導体分野におけるアプリケーション

典型的なタスクとアプリケーション

  • 構造解析とベンチマーク
  • 電位コントラスト
  • 表面下構造解析
  • プロービングによる電子特性解析
  • TEM観察位置の選定

キャプション:高加速電圧(ここでは30 kV)でのaBSD検出器は、FinFETゲート、タングステンプラグ、錫ライナー(挿入)などの深く埋め込まれた構造を、並外れた分解能とコントラスト比で示します。

電子機器および半導体分野におけるアプリケーション

電子ビーム吸収電流(EBAC)

イメージング時のプロービングにより、更なる情報が得られます。ここでの電子ビーム吸収電流(EBAC)は、1つのノードに接地したプローブと回路の接続性を示しています。

1つのノードに接地したプローブと回路の接続性:2 kV
 2 kVでのEBAC。
 5 kVでのEBAC。
 8 kVでのEBAC。
後方散乱画像は、FinFETゲート、タングステンプラグ、錫ライナー(挿入)などの深く埋め込まれた構造を示し、30 kVでaBSD検出器を用いるTEMワークフローの不良解析に役立ちます。
後方散乱画像は、FinFETゲート、タングステンプラグ、錫ライナー(挿入)などの深く埋め込まれた構造を示し、30 kVでaBSD検出器を用いるTEMワークフローの不良解析に役立ちます。

FinFETゲート

後方散乱画像は、FinFETゲート、タングステンプラグ、錫ライナー(挿入)などの深く埋め込まれた構造を示し、30 kVでaBSD検出器を用いるTEMワークフローの不良解析に役立ちます。

SARS-CoV-2ウイルス、培養、不活化、陰性染色、GeminiSEM 560、aSTEM、HAADF/BF。試料ご提供:M. Hannah, Public Health England, United Kingdom

ライフサイエンス研究におけるアプリケーション

典型的なタスクとアプリケーション

  • トポロジーの特性評価
  • 高感受性、非導電性、ガス放出、または低コントラストの試料のイメージング
  • 細胞や組織などの超微細構造を高分解能で視覚化
  • 連続切片やブロックフェイスなどの非常に広い領域のイメージング

キャプション:SARS-CoV-2ウイルス、培養、不活化、陰性染色、GeminiSEM 560、aSTEM、HAADF/BF。試料ご提供:M. Hannah, Public Health England, United Kingdom

ライフサイエンス研究におけるアプリケーション
SARS-CoV-2ウイルス
SARS-CoV-2ウイルス

SARS-CoV-2ウイルス

SARS-CoV-2ウイルス、培養、不活化、陰性染色、GeminiSEM 560、aSTEM、HAADF/BF。試料ご提供:M. Hannah, Public Health England, United Kingdom

マウス脳
マウス脳

マウス脳

Tandem Decelを使用するとにコントラスト比が向上し、マウス脳の細胞小器官を高分解能で鮮明に可視化できます。試料ご提供:C. Genoud, FMI Basel, CH

マメ科植物の根粒

アレイトモグラフィー、連続切片、ブロックフェイスイメージングで広域を観察。マメ科植物の根粒。ZEISS Atlas 5でイメージング、78スライス。

アクセサリ

カーボンフィルム上の酸化亜鉛(ZnO)ナノ粒子、ナノ粒子の3D形態。

3D STEMトモグラフィー

電界放出型SEMで自動STEMトモグラフィーを測定できます。また、APIを使用したSTEMトモグラフィー自動取得用のプログラムは、オートフォーカスと画像取得だけでなく、回転および傾斜ステージの動きを計算します。特徴追跡はSTEMトモグラフィー全体のイメージシフトを補正し2つの画像間のドリフトを最小で約50 nmに保ちます。STEM試料ホルダーはステージを60°傾斜および180°回転させることができ、aSTEM検出器はすべての要件に対応します。Advanced Reconstruction Toolkit(ART)開発チームによる3D再構成ソフトウェアは、この出力をもとに試料の3Dモデルをレンダリングします。

マウス脳の神経細胞の3D再構築。試料ご提供:Christel Genoud, Université de Lausanne, Switzerland
マウス脳の神経細胞の3D再構築。試料ご提供:Christel Genoud, Université de Lausanne, Switzerland

試料ご提供:Christel Genoud, Université de Lausanne, Switzerland

試料ご提供:Christel Genoud, Université de Lausanne, Switzerland

シリアルブロックフェイスSEM用のチャンバー式ウルトラミクロトーム

樹脂包埋された生体試料の超微細構造を、広域にわたって3Dでイメージングしましょう。ZEISS Volutomeは、画像処理、セグメンテーション、ビジュアライゼーションに必要なハードウェアとソフトウェアを提供するエンドツーエンドソリューションです。

ZEISS FE-SEMの{_In Situ}ラボで材料性能を微細構造に関連付ける

ZEISS FE-SEMのIn Situラボで材料性能を微細構造に関連付ける

統合ソリューションを活用​

ZEISS FE-SEMに、加熱・引張実験用のin situソリューションを追加できます。金属、合金、ポリマー、プラスチック、複合材料、セラミックスなどの材料を観察可能です。さらに、機械的引張または圧縮ステージ、加熱ユニット、専用高温検出器を解析と組み合わせることができます。無人自動材料試験を可能にする統一されたソフトウェア環境により、1台のパソコンからすべてのシステムを制御できます。

ビジュアライゼーションおよび解析ソフトウェア:ZEISS推奨Dragonfly Pro

ビジュアライゼーションおよび解析ソフトウェア

ZEISS推奨Dragonfly Pro

ORS Dragonfly Proは、X線、FIB-SEM、SEM、ヘリウムイオン顕微鏡法など、各種技術で取得された3Dデータを先進的に解析・可視化するソフトウェアソリューションです。ORS Dragonfly Proは、ZEISS固有の機能であり、直感的かつ完全にカスタマイズ可能なツールキットを利用して、大規模な3Dグレースケールデータのビジュアライゼーションと解析が可能となります。Dragonfly Proでは、3Dデータのナビゲーション、注釈機能、ビデオ制作などのメディアファイル作成が可能です。画像処理、セグメンテーション、オブジェクト解析により、結果を定量化することができます。

ダウンロード

    • ZEISS GeminiSEM ファミリー

      多様な試料のサブナノメートルイメージングと 高度な分析を可能にする FE-SEM

      ページ: 47
      ファイルサイズ: 26 MB
    • ZEISS Sense BSD

      高速で試料ダメージが少ない微細構造 イメージングのための後方散乱電子検出器

      ページ: 6
      ファイルサイズ: 13 MB
    • 工業用セラミックス研究のためのZEISS顕微鏡ソリューション

      先端セラミックス設計のための2D、3D、4Dソリューション

      ページ: 19
      ファイルサイズ: 1 MB
    • Reduced Energy Consumption

      Optimized Operating Efficiency

      ページ: 2
      ファイルサイズ: 340 KB
    • ZEISS FE-SEM用in situラボ

      材料の性能を微細構造と関連付ける

      ページ: 5
      ファイルサイズ: 4 MB
    • ZEISS GeminiSEM 360

      電界放出型 SEM

      ページ: 4
      ファイルサイズ: 2 MB
    • ZEISS GeminiSEM 460

      電界放出型 SEM

      ページ: 4
      ファイルサイズ: 1 MB
    • Evolution of Gemini Electron Optics

      The Next Chapter in Sub-nanometer Imaging Below 1 kV

      ページ: 5
      ファイルサイズ: 2 MB
    • Investigating Sweet Spot Imaging of Perovskite Catalysts Bearing Exsolved Active Nanoparticles

      ページ: 6
      ファイルサイズ: 5 MB
    • ZEISS Microscopy Solutions for Geoscience

      Understanding the fundamental processes that shape the universe expressed at the smallest of scales

      ページ: 9
      ファイルサイズ: 15 MB
    • ZEISS Gemini Optics - Poster

      High Resolution Images On Real World Samples

      ページ: 1
      ファイルサイズ: 2 MB

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