最新型集束イオンビームSEM

電界放出型SEMやCrossbeamに透過画像イメージング機能を追加しましょう。専用の透過型電子顕微鏡を使用することなく極薄生体／固形標本から付加的情報を入手し、その柔軟さと多用途性をお楽しみください。

メリット：

• 向上した分解能
• 使いやすさ
• 高い生産性と多用途性

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二次電子／二次イオン（SESI）検出器は、Crossbeam用ワークステーションで使用可能な新型検出器です。この検出器によって、集束イオンビーム二次イオン画像または電子画像を取得することができます。

メリット：

• 2-in-1：電子およびイオンで情報を取得
• 材料のより詳細な情報を入手可能
• 広範な併用オプション

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希望どおりの分解能で迅速にイメージングするには、高電子線量と加速電圧が必要ですが、それらは画質を損なう荷電効果や試料の破損の原因となることがあります。ZEISS Sense BSDを、これまでにない高効率かつ高画質の高分解能超微細構造イメージングと組み合わせることで、お持ちのSEMでTEMレベルのイメージングが可能となります。

メリット：

• 非導電性で帯電しやすい生体試料に最適
• 最良の試料保護機能を有しているため、画像の劣化を回避可能
• 高品質の画像をより短時間で

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イメージングと分析性能を兼ね備えたGeminiカラムに、次世代集束イオンビーム（FIB）の処理能力を統合しましょう。最新集束イオンビーム（FIB）の完全なスパッタリング機能や微細／ナノ加工ツールの機能をご体験ください。

メリット：

• 可能な限り多くの情報を取得
• 徹底した工程管理を維持
• 最大限の柔軟性を実現

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ZEISS UniGIS（GIS：ガスインジェクション装置）は、ZEISS集束イオンビームSEMを用いて、プラチナ、タングステンまたは炭素などの前駆体の堆積をイオンや電子ビームで惹起（IBID/EBID）するために使用する新たな単一ガスインジェクション装置です。

メリット：

• 安定した工程
• 便利な取り扱い
• 信頼性の高い堆積機能

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ビームパスコンポーネントを洗浄する手間や保護ウィンドウの不純物を低減しましょう。クロスジェットノズル部品を簡単に取り外して洗浄できるため、これによってレーザー生成チャンバーで高EBSDホルダをローディングすることも可能です。

メリット：

• 低不純物
• 洗浄の手間が低減
• 向上したアブレーション機能

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原子間力顕微鏡は、既存のSEMの機能に、キャリブレーション済みの原子レベルの3D分解能と高分解能測定を追加します。

メリット：

• 試料表面の機械的/電気的/化学的/磁気的特性を把握
• 生産性と汎用性がアップするほか、取り扱いの便利さも向上

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ZEISSワークステーションのアップグレードは、最新のSmartSEMソフトウェア、高性能なハードウェア仕様、最新のオペレーティングシステムにより、日々のプロセスを改善します。

メリット：

• 最新バージョンのSmartSEM
• 直感的なナビゲーション
• Windows 10

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ソフトウェア新着情報、アップグレードおよびその他の機能に関するインタラクティブガイド。ZEISSのソフトウェア、ワークステーションと互換性、ソフトウェアの新機能、最近のソフトウェアリリースについて詳しくご紹介します。

• ZENについての詳細がわかるインタラクティブなツール
• 簡単なソフトウェアアップグレードガイド
• ワークステーションの互換性に関する情報
• 使用可能なその他のソフトウェア機能の詳細情報
• ZEN coreの詳細情報

Airlockでは、既存の真空状態を損なうことなく試料を効率的にロードすることができるため、試料チャンバーの汚染リスクを低減できます。この方法を用いることで、試料交換時間も大幅に短縮されます。

メリット：

• スループットが顕著に向上
• 大型試料のローディング
• 人間工学に基づいた便利な取り扱い

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Flood Gunは、正電荷絶縁体や半導体試料の荷電中和のために改良されたデバイスです。これによって、集束イオンビームによる実効正電荷が維持された状態の試料のある領域に一定に流れている低エネルギー電子を放出させることができます。

メリット：

• 荷電中和
• イメージング機能向上
• ダメージ防止

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ZEISS ECO Quietモードと真空リザーバーを用いると、工場出荷時に設定された真空度に達した際、プレポンプは自動的に停止します。真空リザーバーにより、プレポンプを必要とせず、何時間でもシステムを稼働させることができます。その結果、ノイズレベルの低減とエネルギー消費量の削減を両立させることが可能になります。

メリット：

• より快適な使用感
• 高精細イメージング
• 省エネ

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安定した電力供給が不可能な場合は、無停電電源装置（UPS）を使用します。これは、短時間の停電に対応し、長時間の停電時には顕微鏡を制御して停止できるように設計されています。

メリット：

• 短時間停電時の橋渡し的供給
• 顕微鏡の安全性を確保

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