C-SEMのアップグレード

カスケード電流検出器（C2D）は、VPSE G3およびVPSE G4に代わり、可変圧力（VP）モードでの超低電圧イメージングを可能にします。これにより、1～3 kVで画像をより効果的に取得することができるようになりました。

メリット：

• 多様なビジュアライゼーション
• 水蒸気分解能の向上
• 圧力範囲の拡大
  

製品パンフレット

ZEISS YAG（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）単結晶シンチレーターBSD検出器は、光の伝導効率が高く、低信号でのイメージングに適しています。放射線によるダメージを受けていない材料は、YAG BSDを検出器に変え、すべてのビームエネルギー範囲に適しています。

メリット：

• 高信号出力
• ダメージ防止
• 汎用性の向上

製品パンフレット

光結合型光電子増倍管を搭載した新しいETSE検出器（Everhart Thornely Secondary Electron）は、低電圧での動作や長い作業距離でのSE収集を改善するために設計されています。

メリット：

• 荷電効果の軽減
• トポグラフィックイメージングを強化
• 優れた表面ディテール

製品パンフレット

これによって、試料の高スループットが可能となるため、お持ちのEVOシステムが情報を取得できる限界の幅が広がります。SEMで使用する電子ビームエネルギーがきわめて低い場合、より低い加圧電圧で励磁ボリュームが減少し、断面数が増加します。

メリット：

• 高度試料ホルダーオプション
• 向上した分解能とコントラスト
• 明視野イメージング
  

製品パンフレット

ZEISSワークステーションのアップグレードは、最新のSmartSEMソフトウェア、高性能なハードウェア仕様、最新のオペレーティングシステムにより、日々のプロセスを改善します。

メリット：

• 最新バージョンのSmartSEM
• 直感的なナビゲーション
• Windows 10

製品パンフレット

走査型電子顕微鏡は、あらゆる種類の試料を2Dで測定・解析します。試料表面の3D解析には、ZEISSのオプションソフトウェア3DSMを使用可能です。aBSDまたはAsB検出器のシグナルによって試料表面の完全な3Dモデルを再構築し、トポグラフィー情報を取得できます。

メリット：

• 3DSM
• 試料の表面を3D再構成
• メリット：リアルタイム操作が可能で再構成時間が2秒未満

3DSM Metrology：

• ISO 25178、DIN、ASMEなどの規格に準拠した自動測定とドキュメンテーション
• 完全に追跡可能な測定レポートを作成
• 表面とステップ高さ、距離、ナノメートルスケールの輪郭、粗さとうねり、粒子と粒径などのパラメータを含むプロファイルの特性評価

指でスワイプして関心領域を選択するだけで、EVOシステムが自動的にデータを収集します。他のタスクを実行する間、EVOシステムは無人で作動します。このバージョンアップにより、モダンなタッチインターフェースと多彩な自動化ツールによって、快適なワークフローが実現します。

メリット：

• 試料タイプの選択
• 検出器のオーバーレイ
• 注釈付けと測定
  

製品パンフレット

ケーススタディ

ZEISS ECO Quietモードと真空リザーバーを用いると、工場出荷時に設定された真空度に達した際、プレポンプは自動的に停止します。真空リザーバーにより、プレポンプを必要とせず、何時間でもシステムを稼働させることができます。その結果、ノイズレベルの低減とエネルギー消費量の削減を両立させることが可能になります。

メリット：

• より快適な使用感
• 高精細イメージング
• 省エネ

製品パンフレット

安定した電力供給が不可能な場合は、無停電電源装置（UPS）を使用します。これは、短時間の停電に対応し、長時間の停電時には顕微鏡を制御して停止できるように設計されています。

メリット：

• 短時間停電時の橋渡し的供給
• 顕微鏡の安全性を確保

製品パンフレット