C-SEM升级

级联电流探测器（C2D）取代了VPSE G3和VPSE G4，以在可变压力（VP）模式下实现极低电压成像。现在可以更有效地采集1 - 3 kV电压下的图像。

优势：

• 多种可视化
• 增强的水蒸气分辨率
• 更高的压力范围
  

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蔡司YAG（钇铝石榴石）单晶闪烁体BSD探测器可实现更高的光导效率，是低信号成像的理想之选。无辐射损伤的材料将YAG BSD转变为探测器，适用于所有光束能量范围。

优势：

• 更高的信号输出
• 防止损坏
• 多功能性得到优化

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配备光耦合光电倍增管的新型ETSE探测器（Everhart Thornely二次电子）设计用于在较低的运行电压和较长工作距离下改善二次电子的收集。

优势：

• 荷电效应降低
• 增强的形貌成像
• 出色的表面细节信息

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此升级可提高样品处理效率，从而扩展EVO系统的信息限制。SEM中使用的电子束能量明显较低，导致在较低加速电压下激发体积减小、截面增加。

优势：

• 高级样品载具选项
• 分辨率和衬度提高
• 明场成像
  

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蔡司工作站升级通过使用全新的SmartSEM软件、高性能硬件规格和新操作系统来改进日常流程。

优势：

• 全新的SmartSEM版本
• 直观的导航
• Windows 10

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扫描电子显微镜能够实现各类样品的2D测量与分析。如需分析样品的3D表面，可使用蔡司选装软件包3DSM。使用aBSD或AsB探测器的信号重构样品表面完整的3D模型，以获取表面形貌信息。

优势：

• 3DSM
• 对样品进行3D表面重构
• 进行实时操作，重构时间< 2s

3DSM Metrology：

• 获得符合ISO 25178、DIN、ASME及其他标准的自动测量和数据记录
• 创建完全可追溯的计量数值报告
• 表征表面特性和参数，例如步进高度、距离、纳米尺度的轮廓、粗糙度和波纹度、颗粒和晶粒尺寸

只需用手指轻轻一滑即可选择感兴趣的区域，EVO系统将自动为您收集数据，在您执行其他任务时进行无人值守的运行。此升级通过其现代化的触摸界面和各种自动化工具为您提供更加舒适的工作流。

优势：

• 样品类型选择
• 探测器叠加
• 标注和测量
  

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案例研究

通过使用蔡司ECO Quiet Mode并借助真空储罐，前级泵在达到出厂预设的真空水平后将自动关闭。真空储罐允许系统在没有前级泵的情况下运行数小时，以此降低噪音水平和能耗。

优势：

• 更舒适的应用
• 高清晰成像
• 节能

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电力供应不稳定时将使用不间断电源（UPS）。不间断电源用于在短暂断电时桥接电源，并在长时间断电时以受控方式关闭显微镜。

优势：

• 短暂断电时桥接电源
• 保障显微镜的安全

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