蔡司3DSM

典型用例是轮廓高度测量。通常使用工业研究或质量实验室中的轮廓仪或原子力显微镜（AFM）进行测量，以快速评估机加工表面或压印过程等。但这两种技术都缺乏SEM所提供的便捷的感兴趣区域定位功能。如有需要，您可以使用具有定义步高的校准标准对设备的测量精度进行特殊调整。

• 通过电子显微镜上的aBSD（环形背散射）、AsB（角度选择背散射，仅限GeminiSEM系列）或BSD1（EVO）探测器对合适的样品进行三维表面重构。
• 将3DSM与操作SEM的软件SmartSEM组合使用，以进行实时或连续3D成像，或在独立模式下显示归档项目文件。
• 从GeminiSEM的实时操作和< 2s的重构时间中受益；Sigma和EVO连续提供图像。
• 基础的“shape-from-shading”算法可处理重构任务。
• 可直接在生成的三维模型上进行基本测量，如轮廓尺寸、二维和三维粗糙度评价，只需点击几下鼠标即可完成操作。
• 3DSM配备一个新图形用户界面，以工作流步骤定位、采集和校正为导向。
• 从新标准粗糙度值（Ra、Sa）和用于波纹度与噪点矫正的新滤波器中受益。