サービス・サポート

最新版電界放出型SEM

機能を拡張して
耐用年数をさらに長く

検出器と解析

幅広い種類の検出器で試料を分析しましょう。異なる検出器を使うことで、表面や組成などの様々な情報を得ることができ、プロセスの改善や簡略化に役立てることができます。

お客様のニーズに最適な検出器を見つけてください。

  • アプリケーションに合った検出器をご提案
  • 簡単なアプリケーションガイド
  • 検出器固有の情報
  • 使用可能な機能について詳しく見る
  • ZEISS検出器の詳細がわかるインタラクティブなツール

aSTEM検出器

最適化された環状デザインで最大限の情報を入手

電界放出型SEMやCrossbeamに透過画像イメージング機能を追加しましょう。専用の透過型電子顕微鏡を使用することなく極薄生体/固形標本から付加的情報を入手し、その柔軟さと多用途性をお楽しみください。

メリット:

  • 向上した分解能
  • 使いやすさ
  • 高い生産性と多用途性

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AsB検出器

低電圧での性能と生産性を向上

角度を選択できる新型反射電子(AsB)検出器を改良することで、電界放出型SEMによる生産性や画質が向上します。改良された検出器と電子機器によって向上した感度と高いスピードをご体験ください。

 

メリット:

  • 低電圧での性能を向上
  • イメージングコントラストを強化
  • 一定の温度レベル

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古いAsB検出器をアップデート

aBSD検出器

多様なコントラスト情報を入手可能

aBSD検出器を用いて、きわめて低い角度で反射する電子を検出できます。検出器の6種類の入力チャンネルで多様なコントラスト情報を入手可能です。

メリット:

  • 多様なイメージング
  • 信号収集機能の強化
  • 静かに作業可能

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EsB検出器

表面下の情報の入手やナノスケールの組成の視覚化が可能に

エネルギー選択性反射電子(EsB)検出器は明瞭な組成コントラストに適しています。これは、レンズ内検出器の上に位置する環状のカラム内検出器です。BSE検出機能によって、表面下の情報の入手やナノスケールの組成の視覚化が可能になります。

メリット

  • 材料のより詳細な情報を入手可能
  • トポグラフィーの影響を軽減
  • 電子を選択可能な材料コントラスト

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BSD検出器

リアルタイム3Dイメージングと表面計測が可能

BSD4検出器を用いて、きわめて低い角度で反射する電子を検出できます。COMPOモードは、信頼性の高い材料コントラストの生成に適しています。つまり、重い材料のほうが軽量の材料より明るく表示されます。

メリット:

  • 低電圧での性能を向上
  • イメージングコントラストを強化
  • 一定の温度レベル

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Sense BSD検出器

これまでにない速度と品質で微細構造をイメージング

希望どおりの分解能で迅速にイメージングするには、高電子線量と加速電圧が必要ですが、それらは画質を損なう荷電効果や試料の破損の原因となることがあります。ZEISS Sense BSDを、これまでにない高効率かつ高画質の高分解能超微細構造イメージングと組み合わせることで、お持ちのSEMでTEMレベルのイメージングが可能となります。

メリット:

  • 非導電性で帯電しやすい生体試料に最適
  • 最良の試料保護機能を有しているため、画像の劣化を回避可能
  • 高品質の画像をより短時間で

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Sigma用RISE

完全に統合されたラマンイメージングと査型電子顕微鏡(RISE)でZEISS Sigmaを拡張

RISE(ラマンイメージングと査型電子顕微鏡)によって、試料の薬物/構造指紋を入手可能です。分子・結晶情報を認識し、試料の3D解析を実施できます。

メリット:

  • 使いやすさ
  • 最高品質の結果を入手
  • 長作動距離対物レンズ

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YAG BSD

あらゆる真空モードでの優れたトポグラフィック・組成イメージング

ZEISS YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)単結晶シンチレーターBSD検出器は、光の伝導効率が高く、低信号でのイメージングに適しています。放射線によるダメージを受けていない材料は、YAG BSDを検出器に変え、すべてのビームエネルギー範囲に適しています。

メリット:

  • 高信号出力
  • ダメージ防止
  • 汎用性の向上

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BSD検出器用ES増幅器

次世代イメージングで画質が大幅に向上

BSD検出器は、非常に低い角度で反射する後方散乱電子を検出するのに使用されます。新しい増幅器によって検出器の効率が向上するため、様々なコントラスト情報、はるかに高いゲイン、低ノイズレベルが実現します。

 

メリット:

  • 信号収集機能の強化
  • 静かに作業可能
  • 多様なイメージング

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EVO・Sigma用ETSE

説得力のあるトポグラフィックSEイメージング

光結合型光電子増倍管を搭載した新しいETSE検出器(Everhart Thornely Secondary Electron)は、低電圧での動作や長い作業距離でのSE収集を改善するために設計されています。

メリット:

  • 荷電効果の軽減
  • トポグラフィックイメージングを強化
  • 優れた表面ディテール

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VPSE G4

信号収集能力の向上によってより高速なスキャンが可能に

第4世代の圧力可変SE検出器(VPSE G4)は、収集信号の改善により、さらに速い応答時間を実現します。高速スキャンのおかげで生産性がアップします。VPSE G4は、最大400 Paまで(20 keV時)コントラストを20%向上させます。

メリット:

  • トポグラフィックイメージング
  • スキャン速度の向上
  • 低電圧イメージングを強化

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ZEISS SmartEDX

ルーチンSEM微量分析アプリケーションのための組込み型EDSソリューション

SEMイメージングだけでは部品や試料を完全に理解するための情報が得られない場合、エネルギー分散型X線分光法(EDS)に切り替え、空間分解能を用いて元素化学情報を入手することができます。

メリット:

  • ルーチンの微量分析アプリケーションに最適なソリューション
  • ワークフローに沿ったグラフィカルユーザーインターフェース
  • ZEISSトータルサービスとシステムサポート

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ナノストラクチャリングとパターン形成

原子間力顕微鏡などの様々なシステムで、表面材料を除去または塗布することにより、ナノメートル範囲の構造を作成できます。または、ZEISS Atlas 5の幅広いオプションにより、マルチモーダル画像や包括的なマルチスケールのメリットを活用可能です。

原子間力顕微鏡

原子レベルの3D分解能にアップグレード

原子間力顕微鏡は、既存のSEMの機能に、キャリブレーション済みの原子レベルの3D分解能と高分解能測定を追加します。

 

メリット:

  • 試料表面の機械的/電気的/化学的/磁気的特性を把握
  • 生産性と汎用性がアップするほか、取り扱いの便利さも向上

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Atlas 5

マルチスケールにおける課題を克服

ZEISS Atlas 5では、試料重視の相関環境で広範なマルチスケール、マルチモーダル画像を作成し、実験を容易化することができます。

メリット:

  • 複数のソースで取得した多次元画像の相関付け
  • 高速かつ容易な画像取得

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ソフトウェアとワークステーション

最新のソフトウェアバージョンとライセンスオプションによる拡張機能、そしてシステムパフォーマンスを最適化するために推奨される最新の高性能PCハードウェアをご紹介します。

SEMワークステーション

効率的なワークフロー、直感的なナビゲーションおよび素早いファイル検索

ZEISSワークステーションのアップグレードは、最新のSmartSEMソフトウェア、高性能なハードウェア仕様、最新のオペレーティングシステムにより、日々のプロセスを改善します。

 

メリット:

  • 最新バージョンのSmartSEM
  • 直感的なナビゲーション
  • Windows 10

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SmartSEM

走査型電子顕微鏡のより効率的な操作が可能に

SmartSEMは、困難な課題を解決するために設計された、高度な顕微鏡設定へのアクセスを提供する電子顕微鏡用オペレーティングシステムです。

 

メリット:

  • 強化されたイメージング条件
  • 追加のソフトウェアモジュール
  • 画像からより多くの情報を取得
  • 直感的なナビゲーション

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ソフトウェア検索

ZENアップグレードガイド

ソフトウェア新着情報、アップグレードおよびその他の機能に関するインタラクティブガイド。ZEISSのソフトウェア、ワークステーションと互換性、ソフトウェアの新機能、最近のソフトウェアリリースについて詳しくご紹介します。

 

  • ZENについての詳細がわかるインタラクティブなツール
  • 簡単なソフトウェアアップグレードガイド
  • ワークステーションの互換性に関する情報
  • 使用可能なその他のソフトウェア機能の詳細情報
  • ZEN coreの詳細情報

 

ソフトウェアモジュールカタログ

顕微鏡の機能と性能を拡張

新しい機能を追加したり、既存の機能を改善したりするための幅広いライセンスをご用意しています。これらはプロセスを改善し、システムの使いやすさを向上させるのに役立つほか、より多くの情報を取得するためのツールが使用できます。

 

メリット:

  • 新しい機能でプロセスを改善
  • より快適な使い心地

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3Dサーフェスモデリング

トポグラフィックな3D試料分析

走査型電子顕微鏡は、あらゆる種類の試料を2Dで測定・解析します。試料表面の3D解析には、ZEISSのオプションソフトウェア3DSMを使用可能です。aBSDまたはAsB検出器のシグナルによって試料表面の完全な3Dモデルを再構築し、トポグラフィー情報を取得できます。

メリット:

  • 3DSM
  • 試料の表面を3D再構成
  • メリット:リアルタイム操作が可能で再構成時間が2秒未満

3DSM Metrology:

  • ISO 25178、DIN、ASMEなどの規格に準拠した自動測定とドキュメンテーション
  • 完全に追跡可能な測定レポートを作成
  • 表面とステップ高さ、距離、ナノメートルスケールの輪郭、粗さとうねり、粒子と粒径などのパラメータを含むプロファイルの特性評価

SmartSEM Touch

指でスワイプするだけで対象を観察可能

指でスワイプして関心領域を選択するだけで、EVOシステムが自動的にデータを収集します。他のタスクを実行する間、EVOシステムは無人で作動します。このバージョンアップにより、モダンなタッチインターフェースと多彩な自動化ツールによって、快適なワークフローが実現します。

メリット:

  • 試料タイプの選択
  • 検出器のオーバーレイ
  • 注釈付けと測定

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ケーススタディ

真空度と使いやすさ

Airlockによる試料ロード時間の短縮やスループットの向上、ZEISS ECO Quietモードによるノイズレベルの大幅な低減など、利便性を向上させ、作業効率を高めることができます。プラズマクリーナーで試料やチャンバーを除染したり、フラッドガンやチャージコンペンセーションで帯電効果を補正し、画質を向上させることが可能です。

Airlock ローディング時間の短縮 – 試料スループットの向上

Airlockでは、既存の真空状態を損なうことなく試料を効率的にロードすることができるため、試料チャンバーの汚染リスクを低減できます。この方法を用いることで、試料交換時間も大幅に短縮されます。

 

メリット:

  • スループットが顕著に向上
  • 大型試料のローディング
  • 人間工学に基づいた便利な取り扱い

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チャージコンペンセーション

低い荷電効果とin situでのクリーニングオプション

チャージコンペンセーションシステムは、窒素のイオン化により、非導電性の試料を局所的に放電させます。高分解能と分析能力の向上は、チャージコンペンセーションシステムの統合により、導電性試料だけでなく、あらゆる非導電性試料にも適用できます。

メリット:

  • 非導電性試料を取得
  • 画質向上
  • 生産性と汎用性のアップ

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プラズマクリーナー

迅速かつ効率的にチャンバーをクリーニング

ZEISSは、試料やチャンバーの除染を目的とした迅速かつコスト効率の高いソリューションを提供します。プラズマクリーナーは、プラズマ中で反応性の高い気相ラジカルを発生させるために使用します。ラジカルは機器のチャンバー内に移動し、不要な炭化水素と化学反応します。

メリット

  • 画質向上
  • 試料の素早い除染
  • 安全な除染

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Focal CC

荷電効果を排除することで画質を確保

ZEISS Focal CC(フォーカルチャージコンペンセーション)は、ガス注入方式を改良し、チャージング効果を排除して画質を向上させたものです。特に、樹脂が露出している部分が多い試料では、試料帯電により画質が著しく低下し、歪みが生じていました。

メリット:

  • 高分解能イメージング
  • ダメージ防止
  • ニードル自動収納機能

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ZEISS ECO Quietモード

ノイズレベルとエネルギー消費量の削減

ZEISS ECO Quietモードと真空リザーバーを用いると、工場出荷時に設定された真空度に達した際、プレポンプは自動的に停止します。真空リザーバーにより、プレポンプを必要とせず、何時間でもシステムを稼働させることができます。その結果、ノイズレベルの低減とエネルギー消費量の削減を両立させることが可能になります。

 

メリット:

  • より快適な使用感
  • 高精細イメージング
  • 省エネ

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その他のアクセサリ

試料ホルダー、最新版のデュアルジョイスティックコントローラーとコントロールパネル、停電時にシステムの安全を確保する無停電電源装置(UPS)などのアクセサリを追加して、顕微鏡をアップグレードしましょう。

無停電電源装置

停電時に顕微鏡の安全を確保してデータ消失を防止

安定した電力供給が不可能な場合は、無停電電源装置(UPS)を使用します。これは、短時間の停電に対応し、長時間の停電時には顕微鏡を制御して停止できるように設計されています。

 

メリット:

  • 短時間停電時の橋渡し的供給
  • 顕微鏡の安全性を確保

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SEM用デュアルジョイスティックとコントロールパネル

より簡単にSEMを制御可能

デュアルジョイスティックコントローラーとコントロールパネルを使用することで、より快適な操作が可能になります。デュアルジョイスティックコントローラーは、ステージ制御や試料のナビゲーションに使用でき、コントロールパネルによって、SEMの最も頻繁に使用する機能に簡単にアクセスすることができます。

メリット:

  • 多くのコンペンセーション機能
  • 多様な構成オプション
  • 便利な取り扱い

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