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Erweiterungen für FE-SEM
Service und Support

Erweiterungen für FE-SEM

Für eine längere Lebensdauer
und erweiterte Funktionalität

Detektion und Analyse

Vakuum und Bedienkomfort

Software und Workstation

Nanostrukturierung und Patterning

Zubehör

Detektion und Analyse

Analysieren Sie Ihre Proben mit einer breiten Palette an Detektoren. Verschiedene Detektoren liefern jeweils unterschiedliche Informationen zu Oberfläche, Zusammensetzung und anderen Aspekten, mit denen Sie Ihre Prozesse verbessern und vereinfachen können. 

Finden Sie die passenden Detektoren für Ihre Anforderungen:

  • Erhalten Sie Empfehlungen zu für Ihre Applikation passenden Detektoren
  • Profitieren Sie von einem Leitfaden für die einfache Anwendung
  • Erhalten Sie detektorspezifische Informationen
  • Erfahren Sie mehr zu den verfügbaren Funktionen
  • Erfahren Sie mit unserem interaktiven Informationstool alles, was Sie zu ZEISS Detektoren wissen müssen
Zur Detektorsuche

aSTEM-Detektor

Informationsmaximum durch optimierte Ringkonstruktion

Erweitern Sie Ihr FE-SEM oder Crossbeam System mit der Möglichkeit zum Transmissionselektronen-Imaging. Erhalten Sie ganz ohne Transmissionselektronenmikroskop zusätzliche Informationen zur Ihren ultradünnen biologischen oder Festkörperproben und profitieren Sie von einer hohen Flexibilität und Vielseitigkeit.

Vorteile:

  • Verbesserte Bildauflösung
  • Bedienkomfort
  • Höhere Produktivität und Vielseitigkeit

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AsB-Detektor

Verbesserte Leistung bei niedrigen kV-Werten und höhere Produktivität

Mit dem neuen winkelselektiven Rückstreuelektronendetektor (Angle-selective Backscatter Detektor, AsB-Detektor) als Erweiterung steigern Sie Ihre Produktivität und verbessern die Abbildungsqualität Ihres FE-SEM. Durch das optimierte Detektor- und Elektronikdesign profitieren Sie von hohen Geschwindigkeiten und einer verbesserten Empfindlichkeit.

 

Vorteile:

  • Verbesserte Leistung bei niedrigen kV-Werten
  • Verbesserter Bildkontrast
  • Stabiles Temperaturniveau

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Rüsten Sie Ihren alten AsB-Detektor auf

aBSD-Detektor

Breites Spektrum an Kontrastinformationen

Der aBSD-Detektor erkennt Rückstreuelektronen, die in sehr niedrigen Winkeln gestreut wurden. Die sechs Eingangskanäle des Detektors liefern ein breites Spektrum an Kontrastinformationen.

Vorteile:

  • Variable Bildgebung
  • Verbesserte Signalerfassung
  • Leiser Betrieb

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EsB-Detektor

Informationen von Bereichen unterhalb der Oberfläche und zur Zusammensetzung im Nanobereich visualisieren

Der energieselektive Rückstreuelektronendetektor (Energy selective Backscattered Detektor, EsB-Detektor) ist die richtige Wahl für klare Materialkontraste. Dieser ringförmige, in die Säule integrierte Detektor befindet sich über dem Inlens-Detektor. Mit der Detektion von Rückstreuelektronen (Backscattered electrons, BSE) werden Informationen zu Bereichen unterhalb der Oberfläche und zur Zusammensetzung im Nanobereich sichtbar.

Vorteile

  • Ausführlichere Materialinformationen
  • Weniger Topografieeffekte
  • Energieselektiver Materialkontrast

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BSD-Detektor

3D-Imaging und Oberflächenmetrologie in Echtzeit

Der BSD4-Detektor erkennt Rückstreuelektronen, die in sehr niedrigen Winkeln gestreut wurden. Der COMPO-Mode erzeugt hochwertige Materialkontraste, sodass schwere Materialien heller dargestellt werden als leichte Materialien.

Vorteile:

  • Verbesserte Leistung bei niedrigen kV-Werten
  • Verbesserter Bildkontrast
  • Stabiles Temperaturniveau

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Sense BSD-Detektor

Ultrastrukturelle Bildgebung mit einem neuen Maß an Tempo und Qualität

Eine schnelle Bildgebung in der gewünschten Auflösung setzt hohe Elektronendosen und Beschleunigungsspannungen voraus, die zu Aufladungseffekten und Probenschädigungen führen und auf diese Weise die Bildqualität beeinträchtigen können. ZEISS Sense BSD kombiniert die hochaufgelöste ultrastrukturelle Bildgebung mit einem neuen Maß an Effizienz und Bildqualität und erlaubt so die TEM-ähnliche Bildgebung mit Ihrem SEM.

Vorteile:

  • Gut geeignet für nichtleitende, aufladungsanfällige biologische Proben
  • Maximaler Schutz für Proben, Vermeidung einer Bildverschlechterung
  • Hochwertige Bilder in kürzerer Zeit

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RISE für Sigma

Erweitern Sie Ihr ZEISS Sigma mit vollständig integrierter Raman-Imaging- und Rasterelektronenmikroskopie (RISE).

RISE (Raman Imaging and Scanning Electron Microscopy, Raman-Imaging und Rasterelektronenmikroskopie) liefert einen chemischen und strukturellen Fingerabdruck Ihrer Probe: Sie erkennen molekulare und kristallografische Informationen und führen eine 3D-Analyse der Probe durch.

Vorteile:

  • Bedienkomfort
  • Ausgezeichnete Ergebnisse
  • Objektiv mit großem Arbeitsabstand

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YAG-BSD

Hervorragende Bildgebung für Topografie und Zusammensetzung in allen Vakuummodi

Der ZEISS BSD-Detektor mit Einkristall-Szintillator aus Yttrium-Aluminium-Granat (YAG) sorgt für eine effizientere Lichtleitung, was ideal für das Imaging bei niedrigen Signalpegeln ist. Durch das strahlungsschädenfreie Material eignet sich der YAG-BSD-Detektor für alle Strahlenergiebereiche.

Vorteile:

  • Höhere Signalausbeute
  • Verhinderung von Schäden
  • Noch umfassendere Vielseitigkeit

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ES-Verstärker für BSD-Detektoren

Bildgebung der nächsten Generation mit stark verbesserter Abbildungsqualität

Der BSD-Detektor erkennt Rückstreuelektronen, die in sehr niedrigen Winkeln gestreut wurden. Der neue Verstärker bietet eine höhere Detektoreffizienz und erzeugt verschiedene Kontrastinformationen, eine wesentlich höhere Verstärkung und einen geringeren Rauschpegel.

 

Vorteile:

  • Verbesserte Signalerfassung
  • Leiser Betrieb
  • Variable Bildgebung

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ETSE für EVO und Sigma

Aussagekräftiges topografisches SE-Imaging

Der neue ETSE-Detektor (Everhart Thornely Secondary Electron Detektor) mit optisch gekoppeltem Photomultiplier wurde für eine verbesserte SE-Erfassung bei niedrigeren kV-Werten und größeren Arbeitsabständen konzipiert.

Vorteile:

  • Geringere Aufladungseffekte
  • Verbessertes topografisches Imaging
  • Hervorragende Oberflächendetails

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VPSE G4

Verbesserte Signalerfassung für höhere Scangeschwindigkeiten

Der druckvariable SE-Detektor der 4. Generation (VPSE G4, Variable Pressure SE Generation 4) überzeugt mit verbesserter Signalerfassung und entsprechend kürzeren Reaktionszeiten. Die höheren Scangeschwindigkeiten steigern Ihre Produktivität. VPSE G4 bietet 20 % mehr Kontrast bis zu einem Druck von 400 Pa (bei 20 keV).

Vorteile:

  • Topografisches Imaging
  • Höhere Scangeschwindigkeiten
  • Verbesserte Bildgebung bei niedrigen KV-Werten

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ZEISS SmartEDX

Die integrierte EDX-Lösung für Routineanwendungen bei der SEM-Mikroanalyse

Wenn das Imaging mit dem Rasterelektronenmikroskop allein nicht mehr ausreicht, um Bauteile oder Proben vollständig zu charakterisieren, sollten Sie auf die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) zurückgreifen. So kann die chemische Elementzusammensetzung räumlich dargestellt werden.

Vorteile:

  • Optimiert für alle Routineanwendungen der Mikroanalyse
  • Benutzeroberfläche, die den Arbeitsabläufen folgt – nicht umgekehrt
  • Umfassender ZEISS Service und Systemsupport

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Nanostrukturierung und Patterning

Erstellen Sie Strukturen im Nanometerbereich, indem Sie mithilfe verschiedener Systeme (z. B. Atomic Force Microscope) Oberflächenmaterial entfernen oder ergänzen, oder profitieren Sie mit der großen Optionsauswahl von ZEISS Atlas 5 von multimodalen Bildern und umfassender Mehrdimensionalität.

Atomic Force Microscope

Erweiterung auf 3D-Auflösung auf atomarer Ebene

Das Atomic Force Microscope erweitert die SEM-Funktionalitäten um eine kalibrierte, atomare 3D-Auflösung und um die Möglichkeit der Ausführung hochauflösender Messungen.

 

Vorteile:

  • Informationen zu den mechanischen, elektrischen, chemischen und magnetischen Eigenschaften der Probenoberfläche
  • Höhere Produktivität und Vielseitigkeit sowie komfortable Bedienung

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Atlas 5

Meistern Sie multidimensionale Herausforderungen

ZEISS Atlas 5 macht Ihr Leben einfacher: Erstellen Sie in einer probenzentrierten, korrelativen Umgebung vollständig mehrdimensionale, multimodale Bilder.

Vorteile:

  • Korrelation von Bildern aus mehreren Quellen in mehreren Dimensionen
  • Schnelle, einfache Bildaufnahme

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Software und Workstation

Entdecken Sie die neuesten Softwareversionen und lizenzbasierten Funktionserweiterungen sowie die immer aktuell empfohlene leistungsstarke PC-Hardware, um die Leistung Ihrer Systeme zu optimieren.

SEM Workstation

Effiziente Workflows, intuitive Navigation und schnellere Dateisuche

Das ZEISS Workstation-Upgrade verbessert mit der aktuellen SmartSEM Software, einer auf Hochleistung ausgelegten Hardware und dem neuesten Betriebssystem jeden Aspekt Ihrer täglichen Abläufe.

 

Vorteile:

  • Neueste SmartSEM Version
  • Intuitive Navigation
  • Windows 10

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SmartSEM

Effizienterer Betrieb Ihres Rasterelektronenmikroskops

SmartSEM ist eine Steuerungssoftware für Elektronenmikroskope, die erweiterte Mikroskopeinstellungen verfügbar macht und Ihnen dabei hilft, auch anspruchsvollste Aufgaben zu bewältigen.

 

Vorteile:

  • Verbesserte Imaging-Bedingungen
  • Zusätzliche Softwaremodule
  • Mehr Informationen aus Ihren Bildern
  • Intuitive Navigation

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Software Finder

Ihr Leitfaden für ZEN Upgrades

Die interaktive Auswahlberatung mit Neuigkeiten und Informationen zu Erweiterungen und zusätzlichen Funktionen für Software von ZEISS. Erfahren Sie mehr über ZEISS Software, Workstations und Kompatibilitäten, neue Softwarefunktionen und aktuelle Software-Releases.

 

  • Interaktives Informationstool zu ZEN
  • Einfache Anleitungen für Software-Upgrades
  • Informationen zu Kompatibilitäten von Workstations
  • Mehr zu verfügbaren Software-Zusatzfunktionen
  • Weitere Informationen zu ZEN core

 

Softwaremodulkatalog

Funktionserweiterungen und Leistungsverbesserungen für Ihr Mikroskop

Treffen Sie Ihre Wahl aus unserem breiten Lizenzangebot, um den Funktionsumfang Ihres Systems zu aktualisieren und zu erweitern. So optimieren Sie Ihre Prozesse, die Bedienfreundlichkeit Ihres Systems und verfügen über Tools, die Ihnen noch mehr Informationen liefern.

 

Vorteile:

  • Prozessverbesserungen durch neue Funktionen
  • Komfortablere Verwendung

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3D-Oberflächenmodelle

Topografische Probenanalyse in 3D

Ihr Rasterelektronenmikroskop misst und analysiert alle Arten von Proben lediglich in 2D. Mit dem optionalen 3DSM Softwarepaket von ZEISS analysieren Sie Probenoberflächen auch in 3D. Erhalten Sie topografische Informationen, indem Sie mithilfe der Signale eines aBSD- oder AsB-Detektors ein komplettes 3D-Modell Ihrer Probe rekonstruieren.

Vorteile:

  • 3DSM
  • 3D-Oberflächenrekonstruktionen Ihrer Proben erstellen
  • Von Echtzeitbetrieb und Rekonstruktionsdauern von < 2 s profitieren

3DSM Metrology:

  • Automatisieren Sie Messungen und die Dokumentationen, komplett gemäß ISO 25178, DIN und ASME sowie weiteren Normen.
  • Erstellen Sie lückenlos rückverfolgbare metrologische Berichte.
  • Charakterisieren Sie Oberflächen und Profile einschließlich Parametern wie Stufenhöhe, Distanz, Nanokontur, Rauheit und Welligkeit, Partikel- und Korngröße.

SmartSEM Touch

Objektuntersuchung mit einer einfachen Fingerbewegung

Wischen Sie einfach mit dem Finger, um einen Untersuchungsbereich auszuwählen. Das EVO System erfasst dann automatisch und unbeaufsichtigt für Sie die Daten, während Sie sich um andere Aufgaben kümmern können. Diese Erweiterung macht mit der modernen Touch-Oberfläche und einer Reihe automatisierter Tools einen komfortablen Workflow möglich.

Vorteile:

  • Auswahl des Probentyps
  • Detektorüberlagerungen
  • Annotation und Messung

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Fallstudie

Vakuum und Bedienkomfort

Erhöhen Sie Ihren Arbeitskomfort und vereinfachen Sie Ihre Laborroutinen: Arbeiten Sie z. B. mit der Airlock Probenschleuse und erhalten Sie kürzere Beladezeiten und einen höheren Durchsatz. Oder Sie entscheiden sich für den ZEISS ECO Quiet Mode und arbeiten mit einem stark verringerten Geräuschpegel. Mit dem Plasmareiniger dekontaminieren Sie die Probe und die Kammer. Mit Flood Gun oder Charge Compensation, zur Kompensation von Aufladungseffekten, verbessern Sie die Bildqualität.

Airlock Schleuse Kürzere Beladezeiten – höherer Probendurchsatz

Über die Schleuse lassen sich Proben effizient laden, ohne das bestehende Vakuum aufzuheben. So sinkt das Risiko einer Kontamination der Probenkammer. Auch die Probentauschzeit verkürzt sich mit diesem Verfahren deutlich.

 

Vorteile:

  • Deutlich höherer Durchsatz
  • Laden großer Proben
  • Ergonomische, komfortable Bedienung

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Charge Compensation

Weniger Aufladungseffekte und Möglichkeit zur In-situ-Reinigung

Das Charge Compensation System sorgt mit der Ionisierung von Stickstoff für die lokale Entladung nichtleitender Proben. Die hohe Auflösung in Kombination mit den zusätzlich erweiterten Analysefunktionen ist durch die Integration eines Ladungskompensationssystems nicht auf leitende Proben begrenzt, sondern auch für alle Arten nichtleitender Proben geeignet.

Vorteile:

  • Erfassung nichtleitender Proben
  • Verbesserte Abbildungsqualität
  • Höhere Produktivität und Vielseitigkeit

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Plasmareiniger

Schnelle, effektive Kammerreinigung

ZEISS bietet eine schnelle, kosteneffiziente Lösung für die Dekontamination von Proben und Kammern. Mit einem sogenannten Plasmareiniger werden in einem Plasma reaktive Gasphasenradikale erzeugt. Die Radikale wandern in die Gerätekammer und reagieren chemisch mit den unerwünschten Kohlenwasserstoffen.

Vorteile

  • Verbesserte Abbildungsqualität
  • Schnelle Probendekontamination
  • Sichere Dekontamination

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Focal CC

Verbesserte Bildqualität durch Eliminierung von Aufladungseffekten

ZEISS Focal CC (Focal Charge Compensation, fokale Ladungskompensation) ist ein verbessertes Gasinjektionssystem, das Aufladungseffekte eliminiert und so die Bildqualität verbessert. So gehört die bisher häufige Aufladung von Proben, insbesondere solcher mit großen Bereichen aus reinem Harz, und die damit einhergehende erhebliche Verschlechterung der Bildqualität inklusive Verzerrungen der Vergangenheit an.

Vorteile:

  • Hochauflösendes Imaging
  • Verhinderung von Schäden
  • Automatisches Zurückziehen der Nadel

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ZEISS ECO Quiet Mode

Geringere Geräuschemission und geringerer Energieverbrauch

Mit dem ZEISS Vac ECO Quiet Mode und einem Vakuumbehälter wird die Vorpumpe automatisch abgeschaltet, wenn ein werkseitig voreingestelltes Vakuumniveau erreicht ist. Über den Vakuumbehälter kann das System viele Stunden ohne Einsatz der Vorpumpe laufen. So sinken sowohl der Geräuschpegel als auch der Energieverbrauch.

 

Vorteile:

  • Komfortablere Anwendung
  • High Definition Imaging (HDI)
  • Energieeinsparungen

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Weiteres Zubehör

Erweitern Sie Ihr Mikroskop mit weiterem Zubehör wie Probenträgern, der neuesten Version unserer Doppel-Joystick-Steuerung mit Bedienpanel oder einer unterbrechungsfreien Stromversorgung (UPS, Uninterruptible Power Supply), die bei Stromausfällen die Systemsicherheit sicherstellt.

Unterbrechungsfreie Stromversorgung

Schutz für Ihr Mikroskop bei Stromausfall – Verhinderung von Datenverlusten

Das Modul zur unterbrechungsfreien Stromversorgung (UPS) wird eingesetzt, wenn am Systemstandort keine stabile Stromversorgung garantiert werden kann. Es dient dazu, kurze Stromausfälle zu überbrücken und das Mikroskop bei längeren Stromausfällen kontrolliert abzuschalten.

 

Vorteile:

  • Überbrückung kurzer Stromausfälle
  • Sicherheit für Ihr Mikroskop

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Doppel-Joystick-Steuerung mit Bedienpanel für SEM

Für die einfache Bedienung Ihres SEM

Durch Ausrüstung der Doppel-Joystick-Steuerung mit Bedienpanel wird die Bedienung Ihres SEM wesentlich komfortabler. Mit der Doppel-Joystick-Steuerung können Sie sowohl den Tisch steuern als auch über die Probe navigieren. Über das Bedienpanel greifen Sie auf die wichtigsten Funktionen Ihres SEM zu.

Vorteile:

  • Viele Kompensationsmöglichkeiten
  • Mehrere Konfigurationsoptionen
  • Komfortable Bedienung

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