服务和支持

FE-SEM升级

延长使用寿命
和扩展功能

探测器和分析

通过各种不同的探测器来分析您的样品。不同的探测器可以让您获得来自样品表面、成分和其他细节的各类信息,帮助您改进和简化工作流程。 

找到适合您需求的探测器:

  • 获得适合您应用的探测器的建议
  • 易于使用的指南
  • 探测器的特定信息
  • 了解更多有关可用功能的信息
  • 深入了解蔡司探测器的互动工具

aSTEM探测器

通过优化的环形设计来获取丰富的信息

为您的FE-SEM或Crossbeam系统添加透射电子成像功能。无需使用专门的透射电子显微镜,即可从超薄生物样品或固态样品中获取更多信息,且具有灵活性和多功能性。

优势:

  • 提升图像分辨率
  • 便捷的使用
  • 更高效率和多功能性

产品传单

AsB探测器

改善低电压性能并提高工作效率

通过改装新型角度选择背散射(AsB)探测器,提高FE-SEM的生产效率并改善图像质量。由于速度和灵敏度得到提升,您可以从改进的探测器和电子元件设计中受益。

 

优势:

  • 改善低电压性能
  • 增强的成像衬度
  • 稳定的温度水平

产品传单
更新您的旧AsB探测器

aBSD探测器

提供各种衬度信息

aBSD探测器用于探测以极低角度散射的背散射电子。它通过探测器的六个输入通道提供多种衬度信息。

优势:

  • 可变成像
  • 增强的信号收集
  • 应用安静无噪音

产品传单

EsB探测器

显示亚表面信息和纳米级成分

能量选择背散射(EsB)探测器适用于清晰的成分衬度。它是一款位于In-lens探测器上方的柱内环形探测器。借助探测背散射电子(BSE)可观察到亚表面信息和纳米级成分。

优势:

  • 更详细的材料信息
  • 形貌影响降低
  • 能量选择的材料成分衬度

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BSD探测器

实现实时3D成像和表面计量

BSD4探测器用于探测以极低角度散射的背散射电子。COMPO模式适合产生高质量的材料成分衬度,这意味着显示出的重质材料比轻质材料更亮。

优势:

  • 改善低电压性能
  • 增强的成像衬度
  • 稳定的温度水平

产品传单

Sense BSD探测器

以全新的速度和质量对超微结构进行成像

想要得到快速的高分辨率成像需要高电子剂量和加速电压,这会导致荷电效应和样品损伤,从而影响图像质量。蔡司Sense BSD可在高效率和高图像质量的基础上实现高分辨率的超微结构成像,使您的SEM得以进行TEM级别的成像。

优势:

  • 非常适合非导电的易荷电生物样品
  • 理想的样品保护并避免图像质量下降
  • 在更短的时间内生成高质量的图像

产品传单

用于Sigma的RISE

通过完全集成的拉曼成像和扫描电子显微镜(RISE)扩展蔡司Sigma

RISE(拉曼成像和扫描电子显微镜)为您提供样品的化学和结构指纹:辨别分子和晶体信息并对样品进行3D分析。

优势:

  • 便捷的使用
  • 出色的质量结果
  • 长工作距离物镜

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YAG BSD

所有真空模式下的出色形貌和成分成像

蔡司YAG(钇铝石榴石)单晶闪烁体BSD探测器可实现更高的光导效率,是低信号成像的理想之选。无辐射损伤的材料将YAG BSD转变为探测器,适用于所有光束能量范围。

优势:

  • 更高的信号输出
  • 防止损坏
  • 多功能性得到优化

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用于BSD探测器的ES放大器

体验下一代成像技术和大幅提升的图像质量

BSD探测器用于探测以极低角度散射的背散射电子。新型放大器提供更高的探测器效率,以及各种衬度信息、更高的增益和更低的噪音水平。

 

优势:

  • 增强的信号收集
  • 应用安静无噪音
  • 可变成像

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用于EVO和Sigma的ETSE

令人信服的形貌SE成像

配备光耦合光电倍增管的新型ETSE探测器(Everhart Thornely二次电子)设计用于在较低的运行电压和较长工作距离下改善二次电子的收集。

优势:

  • 荷电效应降低
  • 增强的形貌成像
  • 出色的表面细节信息

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VPSE G4

增强的信号收集实现更高的扫描速度

第四代可变压力SE探测器(VPSE G4)以其增强的信号收集和更快的响应速度令人信服。更高的扫描速度可以提高您的工作效率。VPSE G4可在高达400 Pa的压力(20 keV)下提供高20%的衬度。

优势:

  • 形貌成像
  • 提高了扫描速度
  • 改善了低电压下的成像

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蔡司SmartEDX

用于常规SEM显微分析应用的嵌入式EDS解决方案

如果无法通过SEM单独成像对部件或样品进行全面了解,分析人员可使用能谱仪(EDS)采集空间可分辨的元素化学信息。

优势:

  • 特别适用于常规显微分析应用
  • 工作流导向型图形用户界面
  • 全面的蔡司服务和系统支持

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纳米结构和加工

通过移除或涂敷表面材料和使用不同的系统(如原子力显微镜)来创建纳米级结构,或者通过蔡司Atlas 5的各种选项获得多模式图像和综合多尺度。

原子力显微镜

升级至原子级别的3D分辨率

原子力显微镜在现有SEM功能的基础上增加了经过校准的原子级3D分辨率和高分辨率测量。

 

优势:

  • 了解有关样品表面的力学、电气、化学和磁特性信息
  • 效率和功能性得到提升且操作简便

产品传单

Atlas 5

解决您的多尺度挑战

蔡司Atlas 5让一切更简单:借助以样品为中心的关联环境创建多尺度、多模式的综合图像。

优势:

  • 关联来自多个数据源的多维度图像
  • 快速、简便的图像采集

产品传单

 

软件和工作站

探索我们新的软件版本和基于许可证的功能扩展以及当下推荐的高性能计算机硬件,以优化您的系统性能。

SEM工作站

高效的工作流、直观的导航和更快的文件搜索

蔡司工作站升级通过使用全新的SmartSEM软件、高性能硬件规格和新操作系统来改进日常流程。

 

优势:

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SmartSEM

更高效地操作扫描电子显微镜

SmartSEM是一款电子显微镜操作系统,可访问高级显微镜设置,旨在完成极具挑战的任务。

 

优势:

  • 增强的成像条件
  • 其他软件模块
  • 从图像中获取更多信息
  • 直观的导航

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软件模块目录

扩展显微镜的功能和性能

您可以通过我们的各类许可证添加新功能和改进现有功能,这将有助于您改进流程、简化系统的使用并获得提供更多信息的工具。

 

优势:

  • 通过新功能改进您的流程
  • 使用更舒适

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3D表面建模

形貌3D分析

扫描电子显微镜能够实现各类样品的2D测量与分析。如需分析样品的3D表面,可使用蔡司选装软件包3DSM。使用aBSD或AsB探测器的信号重构样品表面完整的3D模型,以获取表面形貌信息。

优势:

  • 3DSM
  • 对样品进行3D表面重构
  • 进行实时操作,重构时间< 2s

3DSM Metrology:

  • 获得符合ISO 25178、DIN、ASME及其他标准的自动测量和数据记录
  • 创建完全可追溯的计量数值报告
  • 表征表面特性和参数,例如步进高度、距离、纳米尺度的轮廓、粗糙度和波纹度、颗粒和晶粒尺寸

SmartSEM Touch

只需手指轻滑即可探索您感兴趣的对象

只需用手指轻轻一滑即可选择感兴趣的区域,EVO系统将自动为您收集数据,在您执行其他任务时进行无人值守的运行。此升级通过其现代化的触摸界面和各种自动化工具为您提供更加舒适的工作流。

优势:

  • 样品类型选择
  • 探测器叠加
  • 标注和测量

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案例研究

真空和便捷使用

提高便利性并简化您的日常工作,例如通过样品交换舱缩短装载时间并提高样品的处理效率,或通过蔡司ECO Quiet Mode显著降低噪音水平。使用等离子清洗器清除样品和样品仓的污染,或使用电子束流枪或电荷补偿技术,通过补偿荷电效应来提升图像质量。

交换舱 缩短装载时间,提高样品处理效率

交换舱可以在不破坏现有真空度的情况下高效装载样品,从而降低样品仓被污染的风险。使用此方法还能大幅缩短样品的更换时间。

 

优势:

  • 显著提高处理效率
  • 装载大型样品
  • 符合人体工程学且操作方便

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电荷补偿

从较低的荷电效应和原位清洁选项中受益

电荷补偿系统通过氮气电离实现非导电样品的局部放电。高分辨率与进一步扩展的分析能力相结合,通过集成电荷补偿系统,不再仅限于导电样品,可用于所有类型的非导电样品。

优势:

  • 采集非导电样品
  • 提升图像质量
  • 更高效率和多功能性

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等离子清洗器

快速有效地清洁样品仓

蔡司为您提供快速且经济的样品和样品仓去污解决方案。等离子清洗器用于在等离子中产生反应性气相自由基。自由基迁移到设备室并与不需要的碳氢化合物发生化学反应。

优势:

  • 提升图像质量
  • 快速样品去污
  • 安全去污

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Focal CC

通过消除荷电效应改善图像质量

蔡司Focal CC(聚焦电荷补偿技术)是一种改进的气体注入系统,可通过消除荷电效应来提升图像质量。而之前的样品荷电,特别是包含大面积裸露树脂的样品,会导致图像质量显著下降和失真。使用该系统可弥补这一缺陷。

优势:

  • 高分辨率成像
  • 防止损坏
  • 自动针缩回

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蔡司ECO Quiet Mode

降噪节能

通过使用蔡司ECO Quiet Mode并借助真空储罐,前级泵在达到出厂预设的真空水平后将自动关闭。真空储罐允许系统在没有前级泵的情况下运行数小时,以此降低噪音水平和能耗。

 

优势:

  • 更舒适的应用
  • 高清晰成像
  • 节能

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其他配件

使用附加配件来升级您的显微镜,例如样品载具、新版双操纵杆控制器和控制面板,或在断电时保障系统安全的不间断电源(UPS)。

不间断电源

在断电时保护您的显微镜并防止数据丢失

电力供应不稳定时将使用不间断电源(UPS)。不间断电源用于在短暂断电时桥接电源,并在长时间断电时以受控方式关闭显微镜。

 

优势:

  • 短暂断电时桥接电源
  • 保障显微镜的安全

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SEM双操纵杆和控制面板

更轻松地控制您的SEM

借助双操纵杆控制器和控制面板,操作更加方便。双操纵杆控制器可用于载物台控制和样品导航,控制面板可让您轻松访问SEM的常用功能。

优势:

  • 众多补偿可能性
  • 多种配置选项
  • 操作方便

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