ZEISS 3DSM

Les mesures de hauteur de profil sont des exemples typiques d'utilisation. Elles sont généralement effectuées par un profilomètre ou un AFM dans un laboratoire de recherche ou de qualité industriel, par exemple pour l'évaluation rapide de surfaces usinées ou de processus de prise d'empreinte. Ces deux techniques n'offrent pas la possibilité de localiser les régions d'intérêt comme le fait le MEB. Sur demande, la précision de mesure est ajustée spécifiquement pour votre instrument en utilisant une norme d'étalonnage avec des hauteurs d'échelon définies.

• Effectuez une reconstruction de surface 3D d'échantillons adaptés examinés avec des microscopes électroniques équipés d'un détecteur aBSD (rétrodiffusion annulaire), AsB (rétrodiffusion sélective angulaire, gamme GeminiSEM uniquement) ou BSD1 (EVO).
• Combinez 3DSM avec SmartSEM, le logiciel qui pilote le MEB, pour une imagerie 3D en temps réel ou séquentielle, ou utilisez-le en mode autonome pour visualiser les fichiers de projet archivés.
• Bénéficiez d'un fonctionnement en temps réel et de temps de reconstruction < 2s grâce à GeminiSEM ; Sigma et EVO restituent les images de manière séquentielle.
• L'algorithme sous-jacent « shape from shading » se charge de la reconstruction.
• En quelques clics, effectuez des mesures de base telles que les dimensions du profil et les évaluations de la rugosité en 2D et 3D directement sur le modèle 3D qui en résulte.
• 3DSM est désormais doté d'une nouvelle interface graphique, orientée en fonction des étapes du processus : positionnement, acquisition et correction.
• Bénéficiez de nouvelles valeurs de rugosité standard (Ra, Sa) et de nouveaux filtres pour corriger l'ondulation et le bruit.