見えなかった・測れなかった材料特性を Sweet Spot Imagingと最新SEM解析で解き明かす！

材料開発の高度化が進むなか、微細構造・元素分布・結晶方位・力学特性を統合的に評価することが求められています。本ウェビナーでは、JFEテクノリサーチ、ZEISS、Oxford Instrumentsの3社が、それぞれの最新技術と実践的な解析事例を紹介します。

SEMのポテンシャルを最大限に引き出す「Sweet Spot Imaging」、高速・広域元素分析、ライブパターンマッチングによるEBSD解析、SEM内その場力学試験、そして従来は取得が難しかったULV領域での観察を可能にする新型インレンズ検出器など、材料研究・開発および品質評価の最前線をご紹介します。

このような方におすすめです

• 材料開発・研究部門の研究者・技術者（企業および大学・研究機関）
• 電池・半導体・金属材料・電子材料開発に携わる方
• SEM・EDS・EBSDの活用レベル向上を目指す方
• 分析業務の効率化やデータの高精度化に課題をお持ちの方
• 品質保証・不良解析・故障解析担当者

_{*ただし、開催3社の競合にあたる企業関係者の方はご遠慮ください}

JFEテクノリサーチ株式会社
佐藤 馨

走査電子顕微鏡 (SEM) は材料科学および生命科学において不可欠な基盤技術です。SEM を高いレベルで活用するためには、細く絞った入射電子ビームだけでは不十分で、最適化された信号検出が不可欠です。Gemini カラムは独自の検出システムにより、新たな観察領域を切り開きました。JFE テクノリサーチは “Sweet Spot” イメージングを通じて高度な産業ソリューションを提供しており、迅速性、定量的精度、代表性を確保するために各種分析技術をシームレスに統合しています。

*本講演は、11月にベルリンにて開催された ZEISS Innovation Summit 2026 講演の日本語版です

カールツァイス株式会社
小田 武秀

低真空SEM観察は低導電性試料のチャージアップ抑制に有効だが、一次電子線の散乱による観察・EDSマップの分解能低下や、使用可能な検出器の制約が課題となる。本発表では、ZEISS独自の機構により分解能を向上させた低真空モードNanoVPを紹介する。高精度EDS分析に加え、低真空環境下でインレンズ検出器を用いた多彩なイメージングの可能性について述べる。

カールツァイス株式会社
風間 大和

極低加速電圧（Ultra Low Voltage: ULV）領域での SEM観察は、試料最表面の情報を高感度に取得できる一方、十分な信号強度やコントラストの確保が課題でした。本講演では、ULV 領域に最適化された新型インレンズ検出器を中心に、従来は取得が難しかったコントラストの観察事例をご紹介します。さらに、他の検出器との同時利用によって実現する多面的な情報取得と、その活用が期待される sweet spot imaging の新たな可能性をご提案します。

JFEテクノリサーチ株式会社
井本 浩史

SEM-EDX は、材料開発から品質管理まで広く利用される元素分析手法です。本講演では、試料直上配置型検出器「Unity」を活用した実材料解析事例を紹介し、電池材料、燃料電池部材、軽金属材料などを対象とした組成分布評価、微量不純物検出、表面・界面評価への適用例を解説します。効率的な研究開発と品質保証を支える新たな材料評価手法としての可能性を紹介します。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
森田 博文

パターンマッチングは、ハフ変換による EBSD解析に比較して非常に精度の高い分析結果が得られる手法です。しかしながら現在、その実行にはすべての EBSDパターン画像の保存が必須であり、そのデータサイズは多くの制限を生んでいます。新規にリリースを予定しているライブパターンマッチングはその名の通り、測定中にパターンマッチングを実行します。この新しい手法によって、EBSD解析にどのような新しい展開が期待できるかをご紹介します。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
五十嵐 誠

NMT04 は、独自のMEMS技術を活用し、ナノスケールの材料力学特性を高精度に評価できるインデンターです。SEM 観察下で微小領域の硬度や弾性率を測定できるほか、マイクロピラー圧縮試験や引張試験などにも対応しており、塑性変形、亀裂進展、破壊靭性など、材料の変形・破壊挙動の解析に適しています。さらに、SEM-EDS や EBSD による分析とナノインデンテーションを同一視野で行うことで、組成、結晶方位、結晶構造などの微細組織情報と力学特性を関連付けた複合解析が可能です。