Cartographie EDS haute résolution de nanoparticules de Co incluses dans de la silice mésoporeuse mesurée, examinée à 30 kV.
Applications de microscopie pour les nanomatériaux et les nanosciences

Couches minces

Imagerie sub-nanométrique de matériaux sensibles inférieure à 1 kV sans lentille d'immersion, dommages causés par le faisceau ou effets de charge

Comme la plupart des nanomatériaux dont les dimensions se rapprochent du domaine quantique, les couches minces présentent des propriétés que l'on ne voit pas chez leurs homologues en vrac. Les techniques de traitement à l'échelle atomique telles que l'ALD ou l'ALE peuvent désormais déposer (ou supprimer) de la matière, une couche atomique à la fois, permettant un contrôle extrême sur la taille des caractéristiques lors de la fabrication du dispositif. De plus, la compréhension des surfaces et de la chimie de ces couches est essentielle pour optimiser leurs performances.

Faire progresser la recherche sur les nanomatériaux - Une couche atomique à la fois

L'un des principaux défis de la recherche sur les couches minces est l'imagerie des surfaces à haute résolution sans endommager l'échantillon. L'obtention de données chimiques précises et à haute résolution à partir de ces mêmes échantillons à l'aide de l'EDS est également problématique en raison du nombre extrêmement faible de rayons X.

La solution : une résolution plus élevée à faible kV

La résolution de ces problèmes a poussé à développer des outils MEB qui permettent une imagerie à plus haute résolution à des kV de plus en plus faibles. En effet, l'imagerie par MEB haute performance inférieure à 1 kV est désormais considérée comme la référence dans l'analyse de matériaux à couches minces. De plus, en y associant une cartographie EDS haute résolution à l'aide de systèmes de détection avancés (qui maximisent les angles solides et initiaux), vous pouvez également récupérer des données chimiques très précises sur ces surfaces. En retour, vous aurez la certitude que votre spectre ou carte EDS est une représentation précise de votre échantillon.

Les MEB et LM de ZEISS vous aident à progresser

ZEISS continue de développer une technologie d'imagerie à faible kV et haute résolution afin de vous aider à faire progresser vos recherches. Les ZEISS GeminiSEM, associés aux détecteurs EDS spécialement conçus pour les colonnes de MEB optiques Gemini, vous aident à analyser la surface des couches minces sensibles au faisceau avec une résolution jamais vue auparavant. De surcroît, des mesures topographiques 3D rapides et non destructives peuvent être effectuées optiquement à l'aide de techniques de balayage laser confocal.

Vidéos didactiques

  • Préparation MET

    Processus standard

  • Préparation MET

    Processus de vue en plan

  • Préparation MET

    Processus de Face arrière

Détection automatique de noyaux cellulaires marqués en fluorescence dans des échantillons biologiques avec ZEISS ZEN

Détection automatique de noyaux cellulaires marqués en fluorescence dans des échantillons biologiques avec ZEISS ZEN

Détection automatique de noyaux cellulaires marqués en fluorescence dans des échantillons biologiques avec ZEISS ZEN

Détection automatique de noyaux cellulaires marqués en fluorescence dans des échantillons biologiques avec ZEISS ZEN
 

Détection automatique de noyaux cellulaires marqués en fluorescence dans des échantillons biologiques avec ZEISS ZEN
 

Des données pertinentes et fiables

Le succès de la découverte d'un nouveau médicament
Les solutions ZEISS pour l'imagerie à haute densité facilitent la génération de données cohérentes à travers de nombreuses facettes.

  • La technologie d'imagerie leader du marché, ZEISS Celldiscoverer 7, génère des données de haute qualité avec l'imagerie la moins invasive possible, protégeant vos échantillons des perturbations induites par la lumière.
  • ZEISS propose également des ressources de formation et d'assistance de haute qualité pour permettre aux utilisateurs, même novices, d'utiliser la technologie à son plein potentiel, traçant ainsi la voie vers le succès.
  • Par ailleurs, les paramètres d'acquisition d'images ZEN et les pipelines d'analyse d'images arivis Vision4D peuvent être intégrés dans des processus entièrement automatisés, rendant la sortie des données totalement cohérente et reproductible entre les utilisateurs et tout au long de votre étude.
  • Enfin, la plate-forme évolutive d'analyse et de gestion des données arivis VisionHub inclut une gestion transparente des utilisateurs et une fonctionnalité de piste d'audit pour assurer une traçabilité complète de vos résultats, même lorsqu'il s'agit d'ensembles de données excessivement volumineux et complexes.

Applications

Éléments traces dans les couches minces

Éléments traces dans les couches minces

Éléments traces dans les couches minces

Éléments traces dans les couches minces

Cellule solaire pérovskite sur un substrat de verre après une mesure SIMS descendante. La zone d'intérêt a été scannée par le faisceau de gallium 500 fois. Les ions secondaires ont été analysés par spectroscopie selon leur rapport masse/charge. Un signal Na significatif est observé sur toutes les couches. Le mélange et la diffusion des éléments traces peuvent être étudiés par SIMS et sont connus pour influencer les performances des cellules photovoltaïques à couches minces. (image du MEB à gauche, barre d'échelle 2 μm, carte Na SIMS à droite). ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM avec un détecteur SIMS de temps de vol (ToF). Avec l'aimable autorisation d'Arafat Mahmud, RSEEME, Université nationale australienne.

Nanoparticules de ZnO sur un film de carbone

Série d'inclinaison STEM, les images STEM en champ clair sont présentées comme un exemple de quatre signaux collectés au total simultanément avec le détecteur aSTEM à l'aide du porte-échantillon spécial pour la tomographie STEM. ZEISS GeminiSEM. 


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Téléchargements

  • Achieving Nano-scaled EDS Analysis in an SEM

    with a Detector for Transmission Scanning Electron Microscop

    Pages: 5
    Taille du fichier: 863 KB
  • ZEISS GeminiSEM 500

    Nanometer scale EDS Analysis using Low-kV FE-SEM and Windowless EDS Detector

    Pages: 6
    Taille du fichier: 1 MB
  • Topography and Refractive Index Measurement

    of a Sub-μm Transparent Film on an Electronic Chip by Correlation of Scanning Electron and Confocal Microscopy

    Pages: 6
    Taille du fichier: 1 MB