薄膜

薄膜研究の重要課題の1つは、試料にダメージを与えずに表面の高分解能イメージングを行うことです。また薄膜は放出X線量が少ないことから、EDSを使って正確で高分解能の化学データを得ることが困難となっています。

こういった課題を解決することで、高分解能の低電圧イメージングを実現するSEMの開発は発展してきました。今では、薄膜の解析には1 kV以下の高性能SEMイメージングが標準的な手法となっています。優れた検出システム（高い検出立体角と取り出し角）を備えた高分解能のEDSマッピングとの組み合わせによって、表面の化学データを正確に捉えることもできます。この手法により、試料を正確に表現したEDSスペクトル（マップ）が得られます。

ZEISSは、高分解能・低電圧イメージングの継続的な開発により、研究推進をサポートします。ZEISS GeminiSEMをそのカラム専用のEDS検出器と組み合わせることで、ビームの影響を受けやすい薄膜を、これまでにない高分解能で解析することが可能になります。さらに共焦点レーザー走査法によって、高速で非破壊の3Dトポグラフィー解析を光学的に実施できます。