嵌入介孔氧化硅中的钴纳米粒子的高分辨率EDS面分布图,在30 kV下测量和研究。
用于纳米材料和纳米科学的显微镜应用

薄膜

无需水镜即可在1 kV以下拍摄敏感材料的亚纳米级图像,且不会造成光束损坏或荷电效应

与大多数尺寸接近量子领域的纳米材料相似,薄膜表现出了其块体材料所不具备的特性。ALD或ALE等原子级加工技术现可实现一次将材料沉积(或去除)一个原子层,从而可以在器件制造过程中对特征尺寸进行极端控制。了解这些薄膜的表面和化学性质对于优化其性能至关重要。

推进纳米材料研究——一次一个原子层

薄膜研究面临的主要挑战之一是在不造成样品损坏的情况下对表面进行高分辨率成像。由于X射线计数极低,使用EDS也难以从这些相同样品中获得准确、高分辨率的化学数据。

解决方案是在更低电压下获得更高分辨率

解决这些问题推动了SEM工具的开发,可在更低的电压下进行更高分辨率的成像。事实上,低于1 kV的高性能SEM成像现在被视为分析薄膜材料的黄金标准。如果您将其与使用先进探测器系统(最大化立体角和起飞角)的高分辨率EDS面分布图相结合,还可以从这些表面采集高度准确的化学数据。这可让您确信您的EDS能谱图或图谱能准确反映样品。

蔡司SEM和LM助您进步

蔡司不断开发低电压、高分辨率成像技术,帮助您推进研究。蔡司GeminiSEM与专为Gemini光学SEM柱设计的EDS探测器相结合,可提供极高的分辨率,助您分析光束敏感薄膜的表面。此外,您还可以使用共聚焦激光扫描技术以光学方式快速执行无损三维形貌测量。

操作视频

  • TEM样品制备

    标准工作流程

  • TEM样品制备

    平面视图工作流程

  • TEM样品制备

    背面工作流程

使用蔡司ZEN自动检测生物样品中的荧光标记细胞核

使用蔡司ZEN自动检测生物样品中的荧光标记细胞核

使用蔡司ZEN自动检测生物样品中的荧光标记细胞核

使用蔡司ZEN自动检测生物样品中的荧光标记细胞核
 

使用蔡司ZEN自动检测生物样品中的荧光标记细胞核
 

稳健可靠的数据

在新药研发中取得成功
蔡司高内涵成像解决方案可凭借多方优势生成准确稳定的数据。

  • 首先,蔡司Celldiscoverer 7凭借出色的成像技术以低光毒性的成像方式生成高质量数据,保护您的样品免受光致扰动。
  • 其次,蔡司提供高质量的培训和支持资源,即使是新手用户也能充分利用该技术,从一开始就为成功奠定基础。
  • 再次,ZEN图像采集参数和arivis Vision4D图像分析管道均可集成至全自动工作流程中,使数据输出在用户之间和整个研究时间范围内完全一致且可重现。
  • 最后,可扩展的arivis VisionHub分析与数据管理平台包括透明用户管理和审计追踪功能,确保您的结果完全可追溯,在处理大型和复杂的数据集时也同样如此。

应用

薄膜中的痕量元素

薄膜中的痕量元素

薄膜中的痕量元素

薄膜中的痕量元素

经过自上而下的SIMS测量后,玻璃基材上的钙钛矿太阳能电池。感兴趣区域经镓束扫描500次。根据质荷比对二次离子进行光谱分析。在所有层中都观察到了显著的Na信号。可以使用SIMS研究痕量元素的混合和扩散,已知其会影响薄膜光伏电池的性能。(左侧SEM图像,比例尺2 μm,右侧Na SIMS图)。带飞行时间(ToF)SIMS探测器的蔡司Crossbeam 350 FIB-SEM。样品由澳大利亚国立大学RSEEME的Arafat Mahmud提供。

碳膜上的ZnO纳米颗粒

STEM倾斜系列明场STEM图像,使用STEM断层扫描仪专用样品夹与aSTEM探测器可同时收集四种信号。蔡司GeminiSEM。 


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下载

  • Achieving Nano-scaled EDS Analysis in an SEM

    with a Detector for Transmission Scanning Electron Microscop

    页: 5
    文件大小: 863 KB
  • ZEISS GeminiSEM 500

    Nanometer scale EDS Analysis using Low-kV FE-SEM and Windowless EDS Detector

    页: 6
    文件大小: 1 MB
  • Topography and Refractive Index Measurement

    of a Sub-μm Transparent Film on an Electronic Chip by Correlation of Scanning Electron and Confocal Microscopy

    页: 6
    文件大小: 1 MB