蔡司MultiSEM:超高速扫描电子显微镜
产品

蔡司MultiSEM 505/506​

超高速扫描电子显微镜

充分运用多达91条并行电子束的采集速度,用纳米分辨率对厘米级样品进行成像。这款独特的扫描电子显微镜设计用于全天候连续、可靠的运行。只需简单设置高通量数据采集工作流,MultiSEM便能自动完成高衬度图像采集。

  • 成像速度极快
  • ​​自动大区域图像采集
  • 宏观信息下的纳米级细节
  • 低噪点高衬度图像
小鼠大脑切片,最大采集速度为1.22千兆像素/秒。由美国马萨诸塞州剑桥市哈佛大学的J. Lichtman提供。

革新电子显微镜速度

多条电子束并行,为您带来出色的总体成像速度,在4 nm像素大小下采集1 mm2的区域仅需几分钟。凭借每小时超过1 TB的出色采集速度,可在纳米级分辨率下对大体积物体(> 1 mm3)进行成像。 优化的探测器会高效收集二次电子信号,为您在低噪点水平下提供高衬度图像。

图片说明:小鼠大脑切片,最大采集速度为1.22千兆像素/秒。由美国马萨诸塞州剑桥市哈佛大学的J. Lichtman提供。

以纳米级分辨率对大型样品进行成像

以纳米级分辨率对大型样品进行成像

不必再为实现纳米级分辨率而牺牲样品尺寸。MultiSEM配备了一个覆盖10 cm × 10 cm区域的样品载具,并可全天候连续运行。现在,您可对整个样品进行成像,获取包含宏观信息的精细图像,探索您所需要的一切,探寻科学问题的答案。

配备ZEN成像软件的电子显微镜

配备ZEN成像软件的电子显微镜

通过将ZEN引入MultiSEM,我们将蔡司光学显微镜的标准化软件带入了电子显微镜的世界。以一种简单直观的方式操控MultiSEM:智能自动调节程序助您捕获具有高分辨率和高质量的出色图像。您可以快速设置复杂的自动图像采集流程,将其用于您的样品成像。

蔡司MultiSEM系列​

MultiSEM 505
MultiSEM 506

电子束数量

61

91

扫描布局

图像拼接包含由61个以六边形模式排列的子图像

图像拼接包含由91个以六边形模式排列的子图像

12 µm间距尺寸的观察视野

108 μm

132 μm

15 µm间距尺寸的观察视野(可选)

135 μm

165 μm

蔡司MultiSEM背后的技术​

  • 视频动画展示了MultiSEM的工作原理​

多条电子束和探测器并行​
多条电子束和探测器并行​

多条电子束和探测器并行​

MultiSEM运用了多条电子束(绿色:照明通路)和探测器并行。微调探测通路(红色)能够收集大量的二次电子(SE)用于成像。电子束呈六边形排列,每条电子束在一个样品位置执行同步扫描程序,以此获得单个子图像,再通过合并所有图像拼接生成整幅图像。并行的计算机设置程序用于快速记录数据,以保证达到极高的整体成像速度。在MultiSEM系统中,图像采集和工作流程控制完全独立。

集成化工作流程​

用于采集大体积样品的连续切片断层扫描​

  • 自动切片

    自动切片

    使用ATUMtome自动对树脂包埋的生物组织进行切片。一天内可收集多达1000个连续切片。​

  • 样品镶嵌

    样品镶嵌

    将切片胶带镶嵌到硅晶圆上,并用光学显微镜对样品进行成像。将晶圆转移到MultiSEM,使用概览进行导航并设计您的实验。

  • 实验设置

    实验设置

    使用单个图形控制中心即可设置整个实验。通过高效的自动切片检测来识别和锁定感兴趣的区域,从而节省时间。

蔡司MultiSEM应用案例​

  • 股骨颈样品,选择性蚀刻出之前隐藏在骨基质中的骨细胞。样品由澳大利亚新南威尔士大学的M. Knothe Tate和美国俄亥俄州克利夫兰市的U. Knothe提供。
  • 小鼠大脑切片,最大采集速度为1.22千兆像素/秒。由美国马萨诸塞州剑桥市哈佛大学的J. Lichtman提供。
  • 具有宽离子束切割表面的高成熟度页岩样品。样品由美国德克萨斯州休斯顿大学的L. Hathon提供。
  • 带有来自阳极一侧沉淀物的经多次充放电老化后的电池隔膜箔片。在1 KeV的低着陆能量下获得的图像,像素大小为4 nm,覆盖108 µm × 94 µm的观察视野。
  • 65 nm节点技术的图形处理器集成电路,使用氢氟酸刻蚀到其硅基材。
  • 股骨颈样品,选择性蚀刻出之前隐藏在骨基质中的骨细胞。样品由澳大利亚新南威尔士大学的M. Knothe Tate和美国俄亥俄州克利夫兰市的U. Knothe提供。

    股骨颈样品,选择性蚀刻出之前隐藏在骨基质中的骨细胞。样品由澳大利亚新南威尔士大学的M. Knothe Tate和美国俄亥俄州克利夫兰市的U. Knothe提供。

  • 小鼠大脑切片,最大采集速度为1.22千兆像素/秒。由美国马萨诸塞州剑桥市哈佛大学的J. Lichtman提供。

    小鼠大脑切片,最大采集速度为1.22千兆像素/秒。由美国马萨诸塞州剑桥市哈佛大学的J. Lichtman提供。

  • 具有宽离子束切割表面的高成熟度页岩样品。样品由美国德克萨斯州休斯顿大学的L. Hathon提供。

    具有宽离子束切割表面的高成熟度页岩样品。样品由美国德克萨斯州休斯顿大学的L. Hathon提供。

  • 带有来自阳极一侧沉淀物的经多次充放电老化后的电池隔膜箔片。在1 KeV的低着陆能量下获得的图像,像素大小为4 nm,覆盖108 µm × 94 µm的观察视野。

    带有来自阳极一侧沉淀物的经多次充放电老化后的电池隔膜箔片。在1 KeV的低着陆能量下获得的图像,像素大小为4 nm,覆盖108 µm × 94 µm的观察视野。

  • 65 nm节点技术的图形处理器集成电路,使用氢氟酸刻蚀到其硅基材。

    65 nm节点技术的图形处理器集成电路,使用氢氟酸刻蚀到其硅基材。

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    • 蔡司MultiSEM

      世界上速度超快的扫描电子显微镜

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