開發工程師

最新一代的 EUV 微影系統重達 180 多噸，由超過十萬個獨立零件組成，並以數萬顆螺絲固定。此外，系統還有上千條不同線纜、數百公尺長的管線，以及核心組件：EUV 鏡片。系統運作時能生產高效能晶片，在幾平方公分的面積上容納超過 570 億個電晶體。

但前提是所有零件、螺絲、線纜，尤其是鏡片，都必須完美協調、精準運作。一項艱鉅的任務。而這正是 Camila 的天職：作為開發工程師，她負責測試 EUV 系統中光學元件的交互作用，這在全球數位化進程中扮演關鍵角色。這類 EUV 系統透過波長精準 13.5 奈米的 EUV（極紫外光），在塗有光阻劑的矽晶圓上進行曝光，製造最先進的微晶片。由此產生的半導體奈米結構，精細度是人類髮絲的 5,000 分之一。

求學期間，Camila 就與蔡司建立聯繫。「那段經歷太棒了！我能在學習之餘了解工業企業的運作模式。我還參觀開發部門、實驗室和各種生產線。當然，我問了很多問題。非常多！」 Camila 笑著回憶道。當時她專注於機器人安全系統研究。表現出色的她，甚至還沒畢業就獲得工作邀約。2021 年 3 月起，Camila 加入蔡司半導體科技事業部，成為 17 人團隊中機械電子與認證的開發工程師。

團隊負責投影光學元件整合中的動態認證開發。簡言之，Camila 與同事評估 EUV 光學元件的功能性。他們會收到來自各製造部門的預組裝模組，其中包含鏡片、致動器與感測器。然後測試所有元件間的交互作用。透過特定方式移動鏡片，並將訊號值與參考值比對。

「我是團隊新人，但大家從一開始就主動讓我參與。我在第二週就獨立完成第一項任務——開發一個圖形使用者介面，要能顯示鏡片精確位置與溫度。GUI 還要能發送指令至鏡片並更改各種參數。

Camila 主要負責後勤工作，但有時也會前往製造部門與無塵室。這是一次獨特的體驗：「數據在這裡轉化為現實。讓我直接見證與體會到自己工作的重要性。也看到有多少人與我共同投入專案。我每次都會被構造的複雜性震撼——那麼多線纜、冷卻管與感測器竟能整合在微小空間裡。」