FIB-SEM ZEISS Crossbeam Samplefab

ZEISS Crossbeam Samplefab est conçu pour standardiser et adapter les tâches répétitives de préparation d'échantillons FIB afin de réduire les interventions de la part de l'opérateur et d'augmenter le débit dans les environnements de production, de service et d'installations partagées. En automatisant le flux de tâches du matériau brut à la grille, Crossbeam Samplefab assure la qualité homogène des lamelles et la fiabilité des résultats indépendamment des équipes, des opérateurs et des sites.

Crossbeam Samplefab privilégie l'automatisation et la reproductibilité plutôt que la flexibilité. Contrairement à d'autres modèles Crossbeam, Samplefab propose des flux de tâches entièrement mains libres basés sur des recettes pour la préparation à haut rendement de lamelles TEM. Crossbeam Samplefab s'avère donc idéal pour les environnements dans lesquels l'uniformité et l'évolutivité sont essentielles, comme la production de semiconducteurs et l'optimisation du rendement.

Crossbeam Samplefab convient particulièrement aux flux de tâches répétitifs, tels que la préparation de lamelles TEM, les coupes transversales courantes et les processus FIB standardisés où l'uniformité et le rendement sont des facteurs essentiels.

Non. Crossbeam Samplefab a été développé principalement pour la préparation standardisée et reproductible plutôt que pour des flux de tâches exploratoires ou qui varient fréquemment. Crossbeam Samplefab peut toutefois prendre en charge le développement de recettes exploratoires en donnant aux utilisateurs la possibilité de configurer différentes recettes pour chaque site de préparation. Il est ainsi possible de tester et d'évaluer les conditions optimales pour la composition spécifique de certains matériaux avant de standardiser les flux de tâches.

La partie logicielle joue un rôle central dans l'automatisation et les performances de Crossbeam Samplefab. ZEN core EM intègre les commandes MEB et FIB dans un environnement unique et prend en charge les flux de tâches basés sur des recettes, l'exécution par lots et la synchronisation de l'imagerie pendant la phase d'usinage. Pour les analyses en aval, l'écosystème ZEISS arivis permet une visualisation, une segmentation et une analyse quantitative évolutives d'ensembles de données complexes, ce qui favorise une évaluation et une documentation cohérentes.

Crossbeam Samplefab offre des rendements d'automatisation qualifiés supérieurs à 90 %, du fractionnement à la fixation à la grille. Ce taux de réussite particulièrement élevé est atteint grâce à un processus mains libres, une finition à faible voltage et des flux de tâches basés sur des recettes qui réduisent au minimum les interventions de la part de l'utilisateur. Le système privilégie la sécurité de l'appareil en premier lieu, puis la qualité des échantillons. Les couches sensibles d'un appareil restent donc intactes pendant la préparation. L'intervention de l'utilisateur n'est demandée que lorsqu'elle est nécessaire, ce qui améliore encore la fiabilité et la reproductibilité des flux de tâches.

Oui. Crossbeam Samplefab est conçu pour traiter avec précaution les matériaux sensibles aux faisceaux, la finition FIB à basse énergie et l'imagerie MEB à faible voltage réduisant les dommages et préservant les détails structurels fins. Ces technologies assurent une préparation fiable des échantillons fragiles, notamment des couches minces, des polymères et des structures complexes de semi-conducteurs.