ZEISS Crossbeam Samplefab FIB-SEM

ZEISS Crossbeam Samplefab wurde speziell entwickelt, um Routineabläufe in der FIB-Probenpräparation zu vereinheitlichen, die Abhängigkeit von einzelnen Bedienern zu verringern und die Leistungsfähigkeit in Produktions-, Dienstleistungs- und Gemeinschaftsumgebungen zu steigern. Crossbeam Samplefab automatisiert den Workflow vom Rohmaterial bis zum Gitter und sorgt so für eine einheitliche Lamellenqualität und belastbare Ergebnisse – schicht-, personal- und standortübergreifend.

Bei Crossbeam Samplefab haben Automatisierung und Reproduzierbarkeit Vorrang vor Flexibilität. Im Gegensatz zu anderen Crossbeam Modellen ermöglicht Samplefab vollständig benutzerunabhängige, rezeptbasierte Workflows für eine leistungsstarke TEM-Lamellenpräparation. Damit eignet sich Crossbeam Samplefab perfekt für Einsatzgebiete, in denen es wie in der Halbleiterproduktion und im Yield Engineering auf Konstanz und Skalierbarkeit ankommt.

Crossbeam Samplefab eignet sich vor allem für repetitive Abläufe wie die TEM-Lamellenpräparation, die Herstellung von Querschnitten und standardisierte FIB-Prozesse, in denen es auf Reproduzierbarkeit und Durchsatz ankommt.

Nein, Crossbeam Samplefab ist vorrangig auf die einheitliche, reproduzierbare Präparation und weniger auf explorative und dynamische Workflows abgestimmt. Allerdings können mit Crossbeam Samplefab Explorationsrezepte entwickelt werden, sofern den Benutzern die Erstellung separater Rezepte für die einzelnen Präparationsorte gestattet wird. So können die optimalen Bedingungen für bestimmte Materialzusammensetzungen erprobt und evaluiert werden, bevor die entsprechenden Workflows standardisiert werden.

Software ist für die Automatisierung und Effizienz von Crossbeam Samplefab essenziell. ZEN core EM führt SEM- und FIB-Steuerung in einer gemeinsamen Umgebung zusammen und unterstützt Rezept-Workflows, Stapelausführung und eine synchronisierte Bildgebung bereits während des Materialabtrags. In nachgelagerten Analysen ermöglicht das Ökosystem von ZEISS arivis die skalierbare Visualisierung, Segmentierung und quantitative Analyse komplexer Datensätze und sorgt so für eine einheitliche Evaluation und Dokumentation.

Crossbeam Samplefab liefert zwischen Chunking und Gitter eine qualifizierte Automatisierungsausbeute von über 90 %. Diese hohe Erfolgsquote wird durch eine anwenderunabhängige Verarbeitung, die Bearbeitung bei geringer Spannung und rezeptgestützte Workflows erreicht, die menschliches Eingreifen auf ein Minimum reduziert. Dabei wird der Bauteilsicherheit Vorrang vor der Probenqualität eingeräumt, damit die entscheidenden Bauteilschichten bei der Präparation unversehrt bleiben. Der Mensch muss nur eingreifen, wenn dies absolut notwendig ist. Das erhöht die Verlässlichkeit und Reproduzierbarkeit der unterschiedlichen Workflows zusätzlich.

Ja. Crossbeam Samplefab eignet sich dank niederenergetischem FIB-Finishing und spannungsarmem SEM-Imaging auch für strahlenempfindliche Werkstoffe, da Beschädigungen verringert werden und feinste strukturelle Details erhalten bleiben. So können auch empfindliche Proben wie Dünnfilme, Polymere und komplexe Halbleiterstrukturen verlässlich vorbereitet werden.