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Das ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM-Mikroskop eröffnet mehr Flexibilität beim Imaging und bei der Probenvorbereitung in Forschungslaboren mit zahlreichen Benutzern.

ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM

Flexibles FIB-SEM für benutzerübergreifende Laboranwendungen
Inhalt
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ZEISS Crossbeam 350 kombiniert den FIB-Materialabtrag mit dem Ion-sculptor von ZEISS mit der Bildgebung per ZEISS Gemini 1 und einem variablen Druckmodus für unterschiedlichste Anwendungsbereiche wie nicht leitende, magnetische und hochvakuumungeeignete Proben. Ganz auf Gemeinschaftseinrichtungen ausgelegt, steht ZEISS Crossbeam 350 für aussagekräftige, hochauflösende Bildanalysen, Probenvorbereitungen und flexible Konfigurationen in Forschung und Industrie.

  • Druckvariables SEM für Nichtleiter und anspruchsvolle Werkstoffe
  • Schneller und präziser FIB-Materialabtrag mit dem Ion-sculptor und Niederspannungsbearbeitung beugen Beschädigungen der Probe vor
  • Diverse Kammer- und Zubehörvarianten für Analyse und Nanofabrikation
  • Dank stabiler Justierung und hohem Bedienkomfort perfekt für Gemeinschaftseinrichtungen
Das ist der Unterschied
ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM microscope used for flexible materials analysis and sample preparation workflows.

Was zeichnet Crossbeam 350 aus?

Crossbeam 350 wurde für Routineabläufe konzipiert und eignet sich unter anderem für Niedervakuumbetrieb, standardmäßige FIB-Bearbeitung und die TEM-Lamellenpräparation. Geführte und halbautomatisierte Workflows verringern den manuellen Aufwand und erhöhen zugleich die benutzer- und standortübergreifende Reproduzierbarkeit. Das optional erhältliche Imaging per Airlock-NavCam vereinfacht die Navigation und das Ansteuern von Interessensbereichen selbst in großen Proben und Wafern und verkürzt so den Weg von der Probe bis zum Ergebnis. Außerdem erhöht die erweiterte Gasinjektion auf bis zu fünf Kanälen die Flexibilität beim Abscheiden und Ätzen, sodass Workflows an immer komplexere Anwendungen angepasst werden können.

Illustration of focused ion beam milling used to prepare thin TEM lamellae for analysis with the ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM.

Technische Eckdaten

  • Elektronenoptik und Ionenstrahltechnologie: Gemini 1 FE-SEM + FIB-Säule Ion-sculptor
  • VP-Druckbereich: Geeignet für Nichtleiter und hochvakuumungeeignete Materialien
  • Auflösung: oberflächenempfindliches, hochauflösendes Niederspannungs-SEM für Routineanalysen im Nanobereich
  • Eignet sich für nichtleitende, magnetische, ausgasende und hochvakuumungeeignete Proben sowie Metalle, Polymere, Keramik, Biomaterialien, Zellen, Gewebe und Halbleiter.
SEM image of a TEM lamella trench prepared by focused ion beam milling for lamella thinning and sample preparation.

Integrierte Workflows für TEM-Lamellenpräparation und Bildgebung

ZEISS Crossbeam 350 rationalisiert FIB-SEM-Probenvorbereitung, Fehleranalyse und explorative 3D-Tomografie. Chunking, Ausdünnen und Inspektion mit SEM-Monitoring in Echtzeit können mit niederenergetischem FIB-Polieren zur Verhütung von Ionenschäden ergänzt werden. Geführte ZEN Workflows vereinfachen manuelle und halbautomatisierte TEM-Lamellenpräparation, standortübergreifende Stapelverarbeitung und rezeptgestützte Reproduzierbarkeit und machen Crossbeam 350 damit zum perfekten Einstieg in die 3D-Analyse.

SEM image of a milled sample cross-section displayed in ZEISS software for FIB-SEM analysis and microscopy workflow automation.

Hochentwickelte Software-Workflows für Automatisierung, Auswertung und die skalierbare Verarbeitung von Mikroskopiedaten

ZEISS bietet eine integrierte Softwareumgebung für Mikroskopie-Workflows von der Aufnahme bis zum Resultat an. ZEN core für die Elektronenmikroskopie organisiert automatisierte Rezepte, Stapelverarbeitung und integriertes SEM-/FIB-Imaging. Ergänzend dazu macht ZEISS arivis suite Funktionen zur skalierbaren, KI-gestützten Bildanalyse zugänglich.

arivis Pro unterstützt flexible, mehrdimensionale Visualisierungs- und Segmentierungspipelines; arivis Hub beschleunigt die Stapelverarbeitung im großen Stil; und arivis Cloud ermöglicht cloudbasiertes KI-Modelltraining zur Automatisierung und Skalierung erweiterter Analysen ohne Programmieraufwand. In ihrem Zusammenwirken verbessern diese Tools mit hochwertigen, reproduzierbaren Ergebnissen Nanofabrikation, großflächige Bildgebung und korrelative Workflows.

Weitere Anwendungen

Rubrik auswählen Materialforschung
Materialforschung
Elektronik und Halbleiter
Forschung in Life-Sciences und Biologie
SEM-Mikroaufnahme von Nanofluidik-Kanälen, gefertigt mit Abtragung per fokussiertem Ionenstrahl für die Mikro- und Nanofluidik.

Materialforschung

  • Nanostrukturanalysen mit spannungsarmem, oberflächenempfindlichem Imaging
  • Für zielgenaue Querschnitte und 3D-Tomografie
  • Energiearmer Materialabtrag zur Erstellung von TEM-Proben
  • Anpassung von Workflows an unterschiedliche Proben etwa aus Keramik, Polymeren, Metallen und Verbundwerkstoffen
  • Charakterisierung von Kontaktschichten, Schaltungen und fortschrittlichen Node-Strukturen per VP-Imaging
  • Geringere Probenaufladung auch ohne Beschichtung durch variablen Druck
SEM-Bild eines gespaltenen SiC-MOSFET-Bauteils mit Dotierungskontrast zwischen N+-Diffusion und P-Bereichen, aufgenommen bei niedriger Spannung mit ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM.

Elektronik und Halbleiter

  • Analyse größerer Bauteile: Ideal für MEMS, Analog, ausgereifte Node-Strukturen sowie Leistungshalbleiter
  • Vorbereitung von TEM-Lamellen an mehreren Bauteilen mit identischer Dicke und minimalen Beschädigungen
3D-FIB-SEM-Rekonstruktion des Fadenwurms C. elegans mit der inneren Anatomie in Nanometerauflösung.

Forschung in Life-Sciences und Biologie

  • Erkennung von Mikrostrukturen mit spannungsarmem, oberflächenempfindlichem SEM-Imaging
  • Erschließung anvisierter Zell- und Geweberegionen durch präzisen FIB-Materialabtrag
  • Erstellung von 3D-Tomogrammen zur Rekonstruktion von Organellen und biologischen Grenzflächen
  • Präparation hochwertiger TEM-Lamellen durch energiearmes Ausdünnen zur Schadensverhütung

Kundenbericht

In solchen Zellen finden viele verschiedene physikalische Austauschprozesse statt. Mit der 3D-Elektronenmikroskopie können diese sichtbar gemacht werden. So können wir die muskuläre Zellstruktur ganzheitlich betrachten.

Dr. Brian Glancy Earl Stadtman Investigator, Muscle Energetics Laboratory, National Heart, Lung, and Blood Institute at the National Institutes of Health, USA

Service und Support

Expertenunterstützung bei der alltäglichen Probenvorbereitung und -auswertung

ZEISS unterstützt Nutzer von Crossbeam 350 auch nach der Installation. Unsere Anwendungsexperten begleiten Sie bei Einrichtung und Einarbeitung, passen Abläufe an Ihre Anforderungen an und unterstützen Sie dabei, FIB-SEM-Probenvorbereitung und 3D-Analysen eigenständig durchzuführen. Flexible Servicevereinbarungen, Ferndiagnosen und Schulungsangebote sorgen dafür, dass die Systemleistung erhalten bleibt und wechselnde Anforderungen berücksichtigt werden, ohne gleich zu Beginn übermäßig viele Ressourcen zu binden.

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Service und Support

FAQ

  • ZEISS Crossbeam 350 eignet sich vor allem für Labore, die eine konstante FIB-SEM-Leistung für unterschiedlichste Proben und flexible Möglichkeiten für explorative Forschung und Lamellenpräparation in Gemeinschaftseinrichtungen benötigen. Die Gemini 1 Elektronenoptik, der FIB-Materialabtrag mit dem Ion-sculptor und das druckvariable SEM eignen sich für unterschiedlichste Werkstoffe und sogar für nichtleitende, magnetische und hochvakuumungeeignete Proben. Mit seinen geführten Arbeitsabläufen und der flexiblen Konfiguration ist ZEISS Crossbeam 350 perfekt für Gemeinschaftseinrichtungen und -labore geeignet.

  • Crossbeam 350 nutzt ZEN core für EM und ermöglicht damit geführte Workflows und rezeptbasierte Prozesse. Das verringert die anwenderübergreifende Variabilität und vereinfacht Schulungen in Gemeinschaftseinrichtungen.

  • Ja. Crossbeam 350 eignet sich für kontrollierte Bildgebungs- und Bearbeitungsabläufe an strahlenempfindlichen Materialien, ist aber nicht auf besonders anspruchsvolle zerstörungsfreie oder extrem durchsatzstarke Anwendungen ausgelegt.

  • Crossbeam 350 oder Crossbeam 750 ist die richtige Wahl, wenn Sie ein flexibles und zuverlässiges FIB-SEM-System für vielfältige Anwendungen, Gemeinschaftseinrichtungen oder explorative Forschung benötigen, Ihre Durchsatz- und Leistungsanforderungen aber nicht so hoch sind, dass Crossbeam 550 zu empfehlen wäre.

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