マルチユーザー研究ラボ向けに柔軟なイメージングと試料作製を実現するZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM顕微鏡。

ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM

マルチユーザーラボ用途に適した柔軟なFIB-SEM

ZEISS Crossbeam 350は、ZEISS Ion-sculptor FIBミリングとZEISS Gemini 1イメージング、さらに低真空動作を組み合わせたFIB-SEMです。 非導電性材料や磁性材料、高真空に適さない試料を含む、幅広いアプリケーションに対応します。共用施設向けに設計されており、信頼性の高い高分解能イメージング解析、試料作製、柔軟な構成を通じて、研究用途から産業用途まで多様なワークフローを支援します。

  • 非導電性や扱いが難しい材料に対応する低真空SEM
  • 高速かつ高精度なIon-sculptor FIBミリング、低加速電圧仕上げにより試料ダメージを最小化
  • 解析およびナノファブリケーションに対応する柔軟なチャンバー構成とアクセサリー
  • 安定したアライメントと直感的な操作性により、共用施設での運用に最適
ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM microscope used for flexible materials analysis and sample preparation workflows.

Crossbeam 350の特長

Crossbeam 350は、ルーチンワークフローに最適化されており、低真空動作、標準FIB加工、TEMラメラ作製に対応しています。ガイド付きおよび半自動ワークフローにより、ユーザーや拠点を問わず手作業を減らしながら再現性を向上させます。オプションのエアロックNavCamイメージングにより、大型試料やウェーハ上でのナビゲーションと関心領域の設定が高速化され、試料から結果までの時間を短縮します。さらに、最大5チャンネルのガス注入サポートにより、デポやエッチングの柔軟性を向上。アプリケーションの複雑化に応じてワークフローを進化させることが可能です。

Illustration of focused ion beam milling used to prepare thin TEM lamellae for analysis with the ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM.

主な仕様

  • 電子光学・イオンビーム技術:Gemini 1 FE-SEM + Ion-sculptor FIB
  • 低真空範囲:非導電性や高真空非対応材料に対応
  • 解像度:低加速電圧SEMで表面感度の高い高解像度観察で、日常的なナノスケール解析に最適
  • 対応試料は、非導電性、磁性、ガス放出性、高真空に適さない試料、金属、ポリマー、セラミックス、生体材料、細胞、組織、半導体試料です。
SEM image of a TEM lamella trench prepared by focused ion beam milling for lamella thinning and sample preparation.

TEMラメラ作製およびイメージングの統合ワークフロー

ZEISS Crossbeam 350は、FIB-SEMによる試料作製、不良解析、3Dトモグラフィー探索を効率化します。研究者は、チャンク作製、薄片化、SEMによるライブ観察の後、低エネルギーFIB研磨でイオン損傷を最小化できます。ZENによるガイド付きワークフローで、手動・半自動TEMラメラ作製、複数拠点でのバッチ処理、レシピ駆動による再現性をサポートし、Crossbeam 350は3D解析への入門にも適したアクセスしやすいプラットフォームとなります。

SEM image of a milled sample cross-section displayed in ZEISS software for FIB-SEM analysis and microscopy workflow automation.

高度なソフトウェアワークフローにより、自動化、データ解析、スケーラブルな顕微鏡データ処理を実現

ZEISSは、取得から解析までの顕微鏡ワークフローを加速する統合ソフトウェアエコシステムを提供します。ZEN core for EMは、自動レシピ、バッチ処理、SEM/FIB統合イメージングを統合的に管理・実行します。ZEISS arivisスイートは、コア制御を補完し、スケーラブルでAI駆動の画像解析機能を拡張します。

arivis Proは、柔軟な多次元可視化およびセグメンテーションパイプラインを提供; arivis Hubは、大量データの高速処理とバッチ処理をサポート;arivis Cloudは、クラウドベースでAIモデルをトレーニングし、コーディング不要で高度解析を自動化・スケール可能。これらのツールを組み合わせることで、ナノファブリケーション、大面積イメージング、相関ワークフローを安定して高品質で行うことができます。

関連アプリケーション

マイクロ・ナノ流体工学の研究向けに、集束イオンビームミリングで作製されたナノ流体チャネルのSEM像。

材料研究

  • 低加速電圧イメージングによる表面感度を活かしたナノ構造解析を実施
  • サイト特定の断面加工および3Dトモグラフィーの実行
  • 低エネルギーミリングによるTEM試料作製
  • セラミックス、ポリマー、金属、複合材料など、さまざまな試料にワークフローを適用
  • VPイメージングによるコンタクト層、インターコネクト、先端ノードの特性評価
  • 低真空によりコーティング不要で試料の帯電を低減
ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEMを用いて低加速電圧下で撮影された、切断されたSiC MOSFETデバイスのSEM像。N+拡散領域とP型ボディ領域のドーパントコントラストが確認できます。

エレクトロニクス・半導体

  • 大型デバイスの解析:MEMS、アナログ、成熟ノード、パワーデバイスに最適
  • 複数デバイスにわたるTEMラメラ作製で、均一な厚みと最小限のダメージを実現
線虫C. elegansの内部構造をナノメートル解像度で示す3D FIB-SEM再構築像。

ライフサイエンス & 生物学研究

  • 低加速電圧、表面感度の高いSEMイメージングで微細構造を可視化
  • 精密なFIBミリングにより、細胞や組織のターゲット領域にアクセス
  • 3Dトモグラフィーを実施して、細胞小器官や生体インターフェースを再構築
  • 低エネルギー薄片化による高品質なTEMラメラ作製で、試料へのダメージを最小化

お客様の感想

細胞内では非常に多くの物理的相互作用が起こっており、3D電子顕微鏡で観察することでそれらすべてを可視化できます。これにより、筋細胞構造を統合的に理解することが可能になります。

Brian Glancy博士 Earl Stadtman Investigator, Muscle Energetics Laboratory, National Heart, Lung, and Blood Institute at the National Institutes of Health, USA

サービス・サポート

日々の試料作製と解析を支える専門サポート

ZEISSは、Crossbeam 350ユーザーを設置後もサポートします。アプリケーションスペシャリストが、ワークフローの迅速な立ち上げと実行、改善、FIB-SEM試料作製や3D解析の習熟支援を行います。柔軟なサービス契約、リモート診断、研修オプションにより、初期にリソースを過剰投入することなく、必要に応じて性能維持や進化が可能です。

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よくあるご質問

  • ZEISS Crossbeam 350は、幅広い試料に対して信頼性の高いFIB-SEM性能を必要とするラボに最適です。探索的研究、ルーチンのラメラ作製、共用施設での使用に柔軟に対応します。Gemini 1電子光学系とIon-sculptor FIBミリング、低真空SEMにより、非導電性、磁性、高真空非対応の試料を含む幅広い材料に対応します。ガイド付きワークフローと柔軟な構成により、共用施設やマルチユーザーラボに最適です。

  • Crossbeam 350は、ZEN core for EMにより、ガイド付きワークフローとレシピベースの操作を提供し、ユーザー間のばらつきを低減するとともに、共用環境でのトレーニングも簡単に実施可能です。

  • はい、対応しています。Crossbeam 350は、ビーム感受性試料向けの制御されたイメージング・ミリングワークフローに対応します。ただし、最も低ダメージまたは超ハイスループット用途には最適化されていません。

  • 幅広い用途、共同利用施設での使用、あるいは探索的研究向けに、柔軟かつ信頼性の高いFIB-SEMシステムが必要であり、かつCrossbeam 550や750の選定要因となるような高いスループットや性能が求められない場合には、Crossbeam 350をお選びください。