ZEISS Crossbeam 550 FIB-SEM

ZEISS Crossbeam 550は、頻繁に解析ワークフローを実行し、エントリーレベルのシステム以上のスループットと再現性を必要とする先端研究ラボや施設で多く採用されています。

Gemini 2電子光学系を搭載したCrossbeam 550は、より要求の厳しい解析ワークフロー向けに設計されています。ハイスループット、安定したイメージング性能、大規模データセット、3Dトモグラフィー、高度なSEM解析に適した構成を提供します。

Gemini 2光学系はダブルコンデンサー設計を採用しており、効率的な信号生成と安定したイメージング条件を実現し、SEM解析、大面積イメージング、FIB-SEMトモグラフィーにおける高速データ取得を可能にします。

はい、サポートしています。Crossbeam 550では、加工中にライブでイメージングを同期させることが可能で、試料の切削進行をリアルタイムで確認しながら、ワークフローを中断することなくエンドポイント制御を向上させることができます。ただし、ハイダイナミックレンジ（HDR）Mill + SEMはオプションです。

Crossbeam 550は、チャンク加工、薄片化、リフトアウト、グリッドへの搭載といったラメラ作製の全工程をサポートします。ZEN core EMワークフローによりガイドされ、ライブSEMモニタリングと低エネルギーFIB仕上げによって、正確なエンドポイント制御と試料ダメージの低減を実現します。

はい。Crossbeam 550は、薄膜、ポリマー、生体試料などのビーム感受性の高い材料にも対応しています。低加速電圧イメージングと低エネルギーFIB加工により損傷を最小限に抑え、微細な構造を保持します。

Crossbeam 550は、高度な解析ニーズに対応しつつ、日常的な運用の柔軟性も求められる材料科学、エレクトロニクス、先端パッケージングを含む半導体分野、そしてライフサイエンス分野における先進的なワークフローに最適なシステムです。TEMラメラ作製、3Dトモグラフィー、ナノファブリケーション、繊細な試料の構造解析などに利用されています。

ZEISSソフトウェアは、取得、制御、解析を統合し、効率的なワークフローを実現します。ZEN core EMは自動化されたレシピ、バッチ処理、SEM/FIBの同期運用を可能にし、ZEISS arivisは大規模データセットに対応した拡張可能な画像解析を提供することで、一貫性のある高品質な結果を支えます。

フェムトセカンドレーザーは、ZEISS Crossbeamシステム向けのオプション機能で、超短パルスレーザーアブレーションによる高速試料切削を可能にします。特に、広範囲かつ深部にある領域へ迅速にアクセスする必要がある場合に有効です。ZEISS Crossbeam Laserは、10^6 µm³/秒オーダーの非常に高いミリングレートを実現し、高速かつ高精度なアブレーションを可能にすることで、従来のFIBミリングと比べて試料作製時間を大幅に短縮します。レーザーは、熱的・機械的損傷を最小限に抑えることで微細構造を保持し、後のSEMイメージングや解析に適した高品質な表面を提供します。

フェムトセカンドレーザーは、先端半導体解析や大型・複雑な試料を扱う材料研究など、深部にある構造への高速アクセスが求められるワークフローに最適です。特に、従来のFIB加工では時間がかかりすぎる、または非効率となる場合に有効です。

FIB加工は小規模な試料切削において高精度制御を提供します。一方、フェムトセカンドレーザーは、大容量領域の高速アブレーションに優れています。レーザーは、初期段階での高速な試料切削を可能にすることでFIBワークフローを補完し、その後は Ion-sculptor FIBカラムによる高精度なミリングおよび仕上げ加工を行います。

いいえ。フェムトセカンドレーザーは超短パルスを用いて材料を瞬時に気化させるため、熱影響層を生じさせない（非熱的アブレーション）加工を行うことで、熱的・機械的ダメージを最小限に抑えます。その結果、繊細な構造や界面を保持したまま、高品質なイメージングおよび解析を行うことができます。

フェムト秒レーザーは、金属、セラミックス、ポリマー、半導体試料など、幅広い材料に対応しています。ただし、適用可否は具体的な用途や試料組成によって異なります。ZEISSの専門家が、各ワークフローに最適な構成やパラメータ設定をサポートします。

フェムトセカンドレーザーはCrossbeam 550のワークフローにシームレスに統合され、Gemini 2電子光学系およびIon-sculptor FIBカラムと連携して動作します。自動試料搬送を備えた独立チャンバーで作製初期段階の試料切削を高速化し、他方ではレシピ駆動の自動化により、試料やオペレーター間で一貫した結果を実現します。