ZEISS Crossbeam 550 FIB-SEM

ZEISS Crossbeam 550 ist vor allem in modernen Forschungslaboren und Instituten im Einsatz, die regelmäßig Analysen durchführen und deren Anforderungen an Durchsatz und Wiederholgenauigkeit so hoch sind, dass Einsteigersysteme nicht ausreichen.

Crossbeam 550 mit Gemini 2 Elektronenoptik ist speziell für anspruchsvolle Analyseworkflows konzipiert worden, bietet einen höheren Durchsatz und eine höhere Bildgebungsstabilität und eignet sich besonders gut für große Datensätze, 3D-Tomografie und komplexe SEM-Analysen.

Die Gemini 2 Optik mit Doppelkondensor sorgt für eine effiziente Signalerzeugung und stabile Bildgebungsbedingungen und ermöglicht so schnellere Aufnahmen für SEM-Analytics, großflächiges Imaging und FIB-SEM-Tomografie.

Ja. Crossbeam 550 ermöglicht synchronisiertes Imaging in Echtzeit schon während des Materialabtrags. So kann die Materialstruktur immer im Auge behalten und die Endpunktsteuerung verbessert werden, ohne den Prozess zu unterbrechen. HDR Mill + SEM sind allerdings nur gesondert erhältlich.

Crossbeam 550 unterstützt mit Chunking, Ausdünnen, Lift-out und der Befestigung am Gitter mithilfe von ZEN core EM Workflows sämtliche Phasen der Lamellenerstellung und sorgt mit SEM-Echtzeitmonitoring und niederenergetischem FIB-Finishing für präzises Endpointing und weniger Ionenschäden.

Ja, Crossbeam 550 eignet sich auch für strahlenempfindliche Werkstoffe wie Dünnfilme, Polymere und biologische Proben. Die Bildgebung bei geringer Spannung und der niederenergetische FIB-Materialabtrag beugen Beschädigungen vor und bewahren selbst kleinste strukturelle Details.

Crossbeam 550 eignet sich vor allem für komplexe Workflows, anspruchsvolle Analysen und täglich wechselnde Anforderungen in Materialwissenschaften, Elektronik, Halbleitern (z. B. Advanced Packaging) sowie in den Biowissenschaften. Zu den Hauptanwendungsbereichen zählen TEM-Lamellenpräparation, 3D-Tomografie, Nanofabrikation und die strukturelle Analyse empfindlicher Proben.

ZEISS Software verbindet Aufnahme, Steuerung und Auswertung und erhöht so die Effizienz. ZEN core EM unterstützt automatisierte Rezepte, Stapelverarbeitung und synchronisierten SEM-/FIB-Betrieb und ZEISS arivis die skalierbare Bildanalyse großer Datensätze. So sind einheitliche Ergebnisse von hoher Qualität garantiert.

Der Femtosekundenlaser ist eine Zusatzkomponente für ZEISS Crossbeam Systeme, die per ultraschneller Laserablation zügig Material abträgt. Er ist vor allem dann hilfreich, wenn es auf die schnelle Erreichbarkeit großer, tiefliegender Bereichen ankommt. Der ZEISS Crossbeam Laser trägt Material mit 10^6 µm³/s besonders schnell und präzise ab und verkürzt die Vorlaufzeit im Vergleich zum herkömmlichen FIB-Materialabtrag damit erheblich. Der Laser bewahrt selbst feinste strukturelle Details, da er thermische und mechanische Beschädigungen auf ein Minimum reduziert. So sorgt er für eine hohe Oberflächenqualität in der nachgelagerten SEM-Bildgebung und Auswertung.

Der Femtosekundenlaser spielt seine Stärken vor allem dann aus, wenn es auf einen schnellen Zugang zu tieferliegenden Bereichen ankommt – etwa in der weiterführenden Halbleiteranalyse oder der materialwissenschaftlichen Untersuchung großer, komplexer Proben. Von besonderem Nutzen ist er in Anwendungen, in denen ein herkömmlicher FIB-Materialabtrag zu zeitintensiv oder ineffizient wäre.

Der FIB-Materialabtrag ist für die präzise Bearbeitung kleiner Strukturen gedacht, der Femtosekundenlaser für die schnelle Ablation größerer Materialmengen. Der Laser ergänzt FIB-Workflows durch einen schnelleren anfänglichen Materialabtrag, gefolgt von einer präzisen Bearbeitung und einer Oberflächenbehandlung mit der FIB-Säule Ion-sculptor.

Nein, der Femtosekundenlaser verringert mit seinen ultraschnellen Impulsen, die das Material ohne Wärmebildung pulverisieren, thermische und mechanische Schäden (athermische Ablation). So bleiben selbst feinste Strukturen erhalten und für die qualitativ hochwertige Bildgebung und Analyse zugänglich.

Der Femtosekundenlaser eignet sich für zahlreiche Werkstoffe wie Metalle, Keramik, Polymere und Halbleiterproben. Ob er im Einzelfall geeignet ist, hängt allerdings von der konkreten Anwendung und der Probenzusammensetzung ab. Das ZEISS Expertenteam berät Sie gerne zu der optimalen Anordnung und den Parametern Ihrer Abläufe.

Der Femtosekundenlaser fügt sich nahtlos in den Crossbeam 550 Workflow ein und ist mit der Gemini 2 Optik und der FIB-Säule Ion-sculptor kompatibel. Er beschleunigt den Materialabtrag bei der anfänglichen Probenvorbereitung in einer abgetrennten Kammer mit automatisiertem Probentransfer, während die rezeptgestützte Automatisierung für gleichbleibende Ergebnisse bei unterschiedlichen Proben und Bedienern sorgt.