Fresnel-Linse. Nanopatterning mit ZEISS Crossbeam
Mikroskopieanwendungen für die Materialwissenschaften

Nanomaterialien und Nanotechnologie

Untersuchen Sie die Eigenschaften von Nanomaterialien mit fortschrittlichen Mikroskopielösungen

Die Nachfrage nach immer kostengünstigeren und schnelleren Geräten zählt zu den wichtigsten Innovationstreibern der Nanotechnologie. Um dieser Nachfrage gerecht zu werden, dringen Wissenschaftler in immer komplexere Bereiche der Forschung auf dem Gebiet der Halbleitertechnik, niedrigdimensionalen Materialien, Dünnfilme, Photonik und Mikro- und Nanofluidik vor. Anders gesagt: Die Nanowissenschaften unterliegen einem ständigen Innovationsdruck, um Technologien zu entwickeln, die die aktuellen Standards immer wieder aufs Neue übertreffen.

Die Nanomaterialforschung ist jedoch immer nur so gut, wie die zur Verfügung stehenden mikroskopischen Tools. Mit den richtigen Tools ist es möglich, entscheidende Informationen über die Probe zu gewinnen – und je komplexer Ihre Probe oder Forschungsprojekt, desto höher die Anforderungen. Wenn Ihr Mikroskop nicht das leisten kann, was Sie für Ihre Forschung brauchen, werden Sie mit Ihrem Projekt abgehängt.

Erfahren Sie hier mehr über Lösungen von ZEISS Microscopy und wie diese Ihre Forschung unterstützen

Halbleiter- und Elektronikforschung

Halbleiter- und Elektronikforschung

Niedrigdimensionale Materialien

Niedrigdimensionale Materialien

Dünnfilme

Dünnfilme

Mikro- und Nanofluidik

Mikro- und Nanofluidik

Wer hat den Begriff „Nanotechnologie“ erstmals verwendet?

1974 beschrieb der japanische Wissenschaftler Norio Taniguchi mit dem Begriff „Nanotechnologie“ die Präzisionsfertigung von Materialien im Nanometerbereich. Das Konzept an sich wurde jedoch schon 1959 durch den Physiker Richard Feynman vorgeschlagen. In seinem Vortrag „There's Plenty of Room at the Bottom“ sprach er über die direkte Manipulation einzelner Atome als eine Form der Fertigung, allerdings ohne den Begriff „Nanotechnologie“ konkret zu nennen.

Überblick über Nanomaterialien als 4D-Material-Parameterbereich. 0D: Quantenpunkte, Fullerene; 1D: Kohlenstoff-Nanoröhren, Hörner; 2D: Schichten, Graphen; 3D: Arrays.

Was sind Nanomaterialien und wie werden sie hergestellt?

Nanomaterialen haben mindestens eine Dimension, die maximal 100 Nanometer misst. Im Vergleich zu ihren größerformatigen Gegenstücken haben sie einzigartige Eigenschaften, beispielsweise erhöhte Festigkeit, chemische Reaktionsfähigkeit oder Lichtempfindlichkeit.

Top-down und Bottom-up sind zwei zentrale Ansätze für die Herstellung von Nanomaterialien:

  1. Top-down ist eine subtraktive Methode, bei der größere Ausgangsstoffe mittels physischer oder chemischer Verfahren wie Abfräsen, Ätzen oder Thermolyse zu nanoskaligen Materialien verkleinert werden. In der Halbleiterindustrie werden nanoskalige Komponenten beispielsweise per Lithografie herausgearbeitet.
  2. Beim Bottom-up-Ansatz werden Atome zu nanoskaligen Materialien zusammengefügt. Chemische Reaktionen oder Selbstorganisationsprozesse verwenden Moleküle, die so konzipiert sind, dass sie spontan die gewünschte Struktur formen. Chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD) und Molekularstrahlepitaxie (MBE) sind gängige Methoden.

Die erforderliche Art des Nanomaterials und seine vorgesehene Anwendung bestimmen die Auswahl der Methode. Der Bottom-up-Ansatz kommt häufig bei der Arzneimittelverabreichung zum Einsatz, während der Top-down-Ansatz im Elektronik- oder Halbleiterbereich gängig ist.

Was ist der Unterschied zwischen Nanowissenschaften und Nanotechnologie?

Nanowissenschaften und Nanotechnologien hängen zwar miteinander zusammen, sind aber zwei klar getrennte Fachgebiete, die sich auf die Erforschung und Anwendung extrem kleiner Dinge konzentrieren.

  • Die Nanowissenschaften beschäftigen sich vorwiegend mit den Eigenschaften und Verhaltensweisen von nanoskaligen Materialien und widmen sich der Suche nach dem Verständnis einzigartiger Phänomene, darunter quantenmechanische Effekte und neuartige elektronische, optische und mechanische Materialeigenschaften.
  • Die Nanotechnologie baut auf diesem Wissen auf und befasst sich mit Design, Synthetisierung und Charakterisierung von Geräten sowie mit der Entwicklung von Technologien für eine Vielzahl von Anwendungen.
Dr. Claus Burkhardt
Das sagen unsere Kunden Dr. Claus Burkhardt Gruppenleiter Angewandte Materialwissenschaften und Elektronenmikroskopie, NMI Reutlingen

„Stellen Sie sich vor, Sie könnten magnetische Momente von nur 1 bohrschen Magneton erfassen. Zu sehen wären Spin-Flips einzelner Elektronen. Genau das versuchen wir mit supraleitenden Quanten-Interferenzgeräten, sogenannten nanoSQUIDs, zu erreichen. NanoSQUIDs bestehen aus Josephson-Kontakten, die in einem Ring angeordnet sind. Sie verfügen über ultradünne, isolierende Tunnelbarrieren mit einer Dicke von etwa 1 nm. Wir stellen unsere SQUIDs mit einem ZEISS Orion NanoFab her. Für ultradünne Proben wird aufgrund der geringen Größe der Kontakte ein TEM benötigt. Die Defekte im Kristall können anschließend weiter untersucht werden. Eine zielgerichtete Präparation ist für das Wiederauffinden relevanter Bereiche entscheidend und kann nur mit einem FIB-SEM durchgeführt werden. Eine atomare Auflösung kann nur erreicht werden, wenn dünnste Proben hoher Qualität zur Verfügung stehen.“

TEM-Lamellen präparieren und nanoSQUIDs untersuchen

  • In diesem Video erfahren Sie, wie Benedikt Müller, Universität Tübingen, und Claus Burkhardt, NMI Reutlingen, mithilfe von ZEISS Crossbeam und des Workflows zur Präparation von TEM-Lamellen in der Lage sind, die Kristallstruktur von NanoSQUIDS zu analysieren.

FAQ

  • Bedingt durch ihr hohes Oberflächen-Volumen-Verhältnis und durch Quanteneffekte haben Nanomaterialien einzigartige Eigenschaften, die sich erheblich von denen ihrer größerformatigen Gegenstücke unterscheiden. Diese Eigenschaften lassen sich in physische, chemische, mechanische, magnetische, optische und biologische Eigenschaften gliedern. Nanomaterialien: sind reaktionsfreudiger in Katalysatoren; sind äußerst stark; zeigen Superparamagnetismus, der sich für magnetische Speichermedien oder Biosensoren eignet; Quantenpunkte streuen Licht im Nanobereich auf andere Weise; interagieren auf einzigartige Weise mit biologischen Systemen und sind damit unschätzbar wertvoll für Arzneimittelverabreichung oder Imaging.

    Diese Eigenschaften lassen sich durch Veränderung der Größe, Form und Zusammensetzung der Nanomaterialien abstimmen und kontrollieren. Aus diesem Grund haben Nanomaterialien Anwendung in den verschiedensten Fachgebieten gefunden, von der Medizin über Elektronik, Biomaterialien und Energieerzeugung bis hin zum Umweltschutz.

  • Die Nanowissenschaften und die Nanotechnologie versprechen Innovationen und Fortschritte in zahlreichen Gebieten, sind jedoch gleichzeitig mit potenziellen Risiken und Herausforderungen verbunden. Diese fallen in drei Hauptkategorien: Gesundheits- und Umweltrisiken, ethische und gesellschaftliche Probleme sowie das regulatorische Umfeld. Die wissenschaftliche Gemeinschaft arbeitet bereits intensiv an der Erforschung dieser potenziellen Risiken und Herausforderungen, mit dem Ziel, diese nachzuvollziehen und zu mindern, damit die Vorteile der Nanotechnologie auf sichere und verantwortungsbewusste Weise genutzt werden können.

  • Die Mikroskopie spielt eine entscheidende Rolle in den Nanowissenschaften, denn sie eröffnet Mittel und Wege, nanoskalige Materialien direkt zu beobachten, zu charakterisieren und zu manipulieren. Techniken wie SEM, TEM und AFM bieten Einblicke in die atomaren und molekularen Strukturen von Nanomaterialien. Die so erkannten einzigartigen Eigenschaften und Verhaltensweisen bilden die Grundlage für Fortschritte in der Forschung und Anwendung der Nanotechnologien.

  • Nanoskalige Materialien werden mit einer Vielzahl von Geräten synthetisiert, manipuliert und analysiert. Einige Beispiele wichtiger Geräte:

    • Rasterelektronenmikroskope (SEM) ermöglichen die Visualisierung mit starker Vergrößerung und hoher Auflösung.
    • Transmissionselektronenmikroskope (TEM): TEMs bieten eine noch höhere Auflösung als SEMs und liefern detaillierte Informationen zur internen Struktur von Nanomaterialien.
    • Die Rastersondenmikroskopie (SPM) umfasst die Rasterkraftmikroskopie (AFM) und die Rastertunnelmikroskopie (STM), womit es möglich ist, Oberflächen auf atomarer Ebene abzubilden und auch einzelne Atome oder Moleküle zu manipulieren. AFMs liefern dreidimensionale Oberflächenprofile und messen die Kraft zwischen einer scharfen Sondenspitze und der Probenoberfläche.
    • Röntgendiffraktion (XRD): Die XRD analysiert Kristallstrukturen.
    • Spektroskopietechniken wie Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS), energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) und Fourier-Transform-Infrarotspektroskopie (FTIR) können Aufschluss über die chemische Zusammensetzung und die elektronische Struktur von Nanomaterialien geben. Die Raman-Spektroskopie dient zur Beobachtung von Vibrations-, Rotations- und anderen niedrigfrequenten Modi in einem System und liefert einen strukturellen Fingerabdruck, mit dem sich Moleküle identifizieren lassen.
  • Ja, bestimmte Mikroskopietechniken wie die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) in Kombination mit einem SEM oder TEM können detaillierte Informationen über die chemische Zusammensetzung von Nanomaterialien liefern. Diese Techniken ermöglichen die Elementaranalyse und die Erstellung eines Elementverteilungsbilds im Nanobereich – wichtige Grundlagen für Einblicke in die Eigenschaften und Verhaltensweisen von Nanomaterialien in verschiedenen Anwendungen.

  • In der Nanoelektronik ist die Mikroskopie die entscheidende Grundlage für Design, Fertigung und Erprobung von Komponenten wie Transistoren, Drähten und Schaltungen im Nanobereich. Techniken wie STM und AFM können einzelne Atome und Moleküle manipulieren und damit elektronische Bauteile zusammenstellen, während TEM und SEM bei der Inspektion der Qualität und Struktur von nanoelektronischen Bauteilen zum Einsatz kommen.

  • Mikroskopietechniken, insbesondere solche mit Echtzeit-Interaktion wie AFM und STM, ermöglichen die präzise Manipulation von Materialien im Nanobereich. Forscher können mit diesen Hilfsmitteln einzelne Atome oder Moleküle bewegen, Nanostrukturen konstruieren und die mechanischen, elektrischen und chemischen Eigenschaften von Materialien im Nanobereich untersuchen, womit neuartige Nanotechnologie-Anwendungen entstehen.

  • Die Untersuchung von Nanomaterialien mit der Mikroskopie bringt einige Herausforderungen mit sich. So muss beispielsweise die Probenstabilität unter Hochenergiestrahlen sichergestellt sein, die Proben müssen im nativen Zustand ohne Veränderungen präpariert werden, und es gilt, die Daten angesichts der komplexen Interaktionen im Nanobereich richtig zu interpretieren. Fortgeschrittene Mikroskopietechniken und sorgfältige Probenpräparation sind entscheidend für die Überwindung dieser Herausforderungen.

  • Die Mikroskopie war maßgeblich an Fortschritten in der Nanotechnologie beteiligt, denn sie hat die Visualisierung und Analyse von Nanostrukturen und Bauelementen erst möglich gemacht, die zu Innovationen in der Elektronik, den Materialwissenschaften und der Medizin geführt haben. Mit der Entwicklung der ultrahochauflösenden Elektronenmikroskopie waren Wissenschaftler beispielsweise in der Lage, die Anordnung von Atomen in Materialien zu beobachten, womit noch effizientere nanoskalige Bauelemente konzipiert werden konnten.

In welchen typischen Anwendungen kommen Nanomaterialien zum Einsatz?

  • Säulen-Array, herausgearbeitet mit dem FS-Laser in der Probe einer Titanlegierung.

    Mikromechanische Tests

  • Perowskitsolarzelle auf einem Glassubstrat nach Top-Down-SIMS-Messung.

    Spurenelemente in Dünnfilmen

  • Degradation der Mikrostruktur in einer Festoxid-Elektrolysezelle (Solid Oxide Electrolyzer Cell, SOEC).

    3D‑Analyse von Nanomaterialien

  • 3D‑gedruckte Nanogitterstruktur, Abbildung im Zernike-Phasekontrast vor In-situ-Komprimierungsexperimenten

    3D‑gedruckte Nanogitterstruktur

  • CVD-gewachsene MoS2-2D‑Kristalle in Si/SiO2-Substrat

    CVD-gewachsene MoS2-2D‑Kristalle in Si/SiO2-Substrat

  • Strukturierte Goldplättchen, Untersuchung als Teil der Grundlagenforschung zu plasmonischen Effekten.

    Strukturierte Goldplättchen

  • 3d-Stacked Die-Verbindung, Cu‑Säulen-Microbumps in 760 µm Tiefe

    3d-Stacked Die-Verbindung

  • Mikrofluidik-Beispiel

    Mikrofluidik-Beispiel

  • Säulen-Array, herausgearbeitet mit dem FS-Laser in der Probe einer Titanlegierung.

    Mikromechanische Tests
    Säulen-Array, herausgearbeitet mit dem FS-Laser in der Probe einer Titanlegierung. Diese Säulen eignen sich beispielsweise für mikromechanische Prüfungen oder als Probenpräparation für Röntgenmikroskope nach einem Liftout. Größe der Säulen: Höhe 100 µm, Abstand an allen Seiten 150 µm, Durchmesser an der Spitze 30 µm. Laserbearbeitungszeit für das gesamte Array 2,5 Minuten. Sehfeld 2,010 mm. ZEISS Crossbeam 350 Laser

  • Perowskitsolarzelle auf einem Glassubstrat nach Top-Down-SIMS-Messung.

    Spurenelemente in Dünnfilmen
    Perowskitsolarzelle auf einem Glassubstrat nach Top-Down-SIMS-Messung. ROI 500 Mal mit Galliumstrahl gescannt. Spektroskopische Analyse der Sekundärionen gemäß ihres Masse-Ladungs-Verhältnisses. In allen Schichten ist ein signifikantes Na-Signal zu beobachten. Die Zusammensetzung und Verteilung der Spurenelemente kann mit SIMS untersucht werden und beeinflusst nachweislich die Leistung von Dünnschicht-Photovoltaikzellen (links: SEM-Bild, Maßstab 2 μm; rechts: Na-SIMS-Karte). ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM mit Time of Flight (ToF)-SIMS-Detektor. Probe mit freundlicher Genehmigung von Arafat Mahmud, RSEEME, Australian National University.

  • Degradation der Mikrostruktur in einer Festoxid-Elektrolysezelle (Solid Oxide Electrolyzer Cell, SOEC).

    3D‑Analyse von Nanomaterialien
    Degradation der Mikrostruktur in einer Festoxid-Elektrolysezelle (Solid Oxide Electrolyzer Cell, SOEC). 3D-FIB-SEM/EDX ermöglicht die Quantifizierung des Ausmaßes der mikrostrukturellen Gefügeveränderungen und der nachteiligen Auswirkungen auf die Zellleistung. Siehe auch: Charakterisierung von SOECs mit fortschrittlicher FIB-SEM-Tomografie – ein Whitepaper von ZEISS. ZEISS Crossbeam mit EDX, ZEISS Atlas 5 mit 3D‑Analytics-Modul. Probe mit freundlicher Genehmigung von M. Cantoni, EPFL, Lausanne, Schweiz.

  • 3D‑gedruckte Nanogitterstruktur, Abbildung im Zernike-Phasekontrast vor In-situ-Komprimierungsexperimenten

    3D‑gedruckte Nanogitterstruktur
    Abbildung im Zernike-Phasekontrast vor In-situ-Komprimierungsexperimenten (Probenbreite 30 µm). ZEISS Xradia Ultra. Probe mit freundlicher Genehmigung von: R. Schweiger, KIT, Deutschland.

  • Das RISE-Bild (Raman-Imaging und Rasterelektronenmikroskopie) zeigt Knicke und überlappende Bereiche der MoS2-Kristalle (grün), Multischichten (blau) und Monoschichten (rot). ZEISS Sigma mit RISE. Sehfeld: 33 µm.

    CVD-gewachsene MoS2-2D‑Kristalle in Si/SiO2-Substrat
    Das RISE-Bild (Raman-Imaging und Rasterelektronenmikroskopie) zeigt Knicke und überlappende Bereiche der MoS2-Kristalle (grün), Multischichten (blau) und Monoschichten (rot). ZEISS Sigma mit RISE. Sehfeld: 33 µm.

  • Strukturierte Goldplättchen, Untersuchung als Teil der Grundlagenforschung zu plasmonischen Effekten.

    Strukturierte Goldplättchen
    Untersuchung im Rahmen der Grundlagenforschung zu plasmonischen Effekten.
    ZEISS GeminiSEM 560. Weitere Informationen: Science Advances 3, e1700721 (2017). Bild: Mit freundlicher Genehmigung der Universität Stuttgart, 4. Physikalisches Institut und Zentrum für Angewandte Quantentechnologie, Deutschland.  Sehfeld: 47,64 µm.

  • 3d-Stacked Die-Verbindung, Cu‑Säulen-Microbumps in 760 µm Tiefe, Anfertigung der Querschnitte in weniger als einer Stunde. Sehfeld: 2,58 mm, ZEISS Crossbeam laser

    3d-Stacked Die-Verbindung
    Cu‑Säulen-Microbumps in 760 µm Tiefe, Anfertigung der Querschnitte in weniger als einer Stunde. Sehfeld: 2,58 mm, ZEISS Crossbeam laser.

  • Mikrofluidik-Beispiel. 20 nm breite Nanokanäle in verschiedenen Konfigurationen bis 20 µm Länge. ZEISS Crossbeam und ZEISS Atlas 5 mit NPVE-Modul, Sehfeld: 59 μm.

    Mikrofluidik-Beispiel
    20 nm breite Nanokanäle in verschiedenen Konfigurationen bis 20 µm Länge. ZEISS Crossbeam und ZEISS Atlas 5 mit NPVE-Modul, Sehfeld: 59 μm.

ZnO-Nanopartikel auf einem Kohlenstofffilm

STEM-Kippserie, die gezeigten STEM-Bilder im Hellfeld sind ein Beispiel der gleichzeitig insgesamt vier mit dem aSTEM-Detektor erfassten Signale unter Verwendung des speziellen Probenhalters für die STEM-Tomografie. ZEISS GeminiSEM. 

3D‑Tomografie und Analyse

Mehrschichtiges Metallsystem erläutert anhand einer kanadischen Münze; typischer FIB-SEM-Workflow mit Materialabtrag, Bildgebung, EBSD (oben in diesem Video) und EDX (unten). Details, Zeile oben, von links nach rechts: EBSD, Kupfer, Bandkontrast; EBSD, Eisen, Euler-Färbung; EBSD, Nickel, IPF X. Zeile unten, von links nach rechts: EDX-Elementverteilungsbild mit: Kupfer, Eisen, Nickel. ZEISS Crossbeam mit EDX, ZEISS Atlas 5 mit 3D Analytics-Modul, EDX, EBSD.

Unterstützung für die Forschung an Nanopartikeln: Hochaufgelöstes SEM-Bild der Auermetall-Nanopartikel als erster Schritt des End-to-End-Mikroskopie-Workflows vom FE-SEM-Imaging bis zur Bildsegmentierung
Unterstützung für die Forschung an Nanopartikeln: Falschfarbendarstellung der Auermetall-Nanopartikel nach ML-basierter Segmentierung. Das Bild zeigt die Ergebnisse des zweiten Schritts des End-to-End-Mikroskopie-Workflows vom FE-SEM-Imaging bis zur Segmentierung.

Mehr Tempo für die Forschung an Nanopartikeln

Die Messung der Größe von Nanopartikeln lässt sich mittels eines automatisierten End-to-End-Mikroskopie-Workflows vereinfachen, in dem eine SEM-Bilderfassung sowie eine Bildsegmentierung auf der Basis von maschinellem Lernen zum Einsatz kommen. Für diese Aufgabe mussten bislang Wasserscheidenalgorithmen manuell auf eine Bildserie angewendet werden. Heutzutage lässt sich diese mühsame Arbeit an die KI-gestützte Bildverarbeitung abtreten. Das oberflächenempfindliche, hochauflösende FE-REM-Imaging von Auermetall-Nanopartikeln (links) zeigt den ersten Schritt im Workflow mit ZEISS GeminiSEM (Inlens SE-Detektion, 2 kV Beschleunigungsspannung); die Falschfarbendarstellung zeigt die Ergebnisse der Bildsegmentierung mit arivis Pro (rechts).

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  • Zielgerichtete Probenpräparation mit dem ZEISS Crossbeam laser

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